[发明专利]一种Micro Led巨量转移装置及其转移方法在审

专利信息
申请号: 201910886667.9 申请日: 2019-09-19
公开(公告)号: CN110690143A 公开(公告)日: 2020-01-14
发明(设计)人: 徐尚君;王鸣昕;黄洪涛;朱景辉;高威 申请(专利权)人: 南京中电熊猫平板显示科技有限公司;南京中电熊猫液晶显示科技有限公司;南京华东电子信息科技股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L27/15
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地址: 210033 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 绝缘层 接收电极 转移装置 开孔 绝缘层包裹 侧壁保护 上绝缘层 偏移 形变 侧壁 填充 挤压 携带
【说明书】:

在本发明提供一种Micro Led巨量转移装置,其包括转移Micro LED的转移头、接收Micro LED的接收电极、设置在接收电极上绝缘层以及位于接收电极上且开设在绝缘层上的开孔,其中,所述绝缘层在压力下具有流动性;携带Micro LED的转移头靠近接收电极的同时挤压绝缘层使绝缘层发生形变,绝缘层填充在开孔与Micro LED之间的空隙且Micro LED的侧壁由绝缘层包裹。本发明Micro Led巨量转移装置及其转移方法,通过绝缘层具有流动性,使在Micro Led巨量转移的过程中同时让绝缘层固定Micro Led,解决Micro Led偏移和侧壁保护的问题。

技术领域

本发明涉及Micro Led的技术领域,尤其涉及一种Micro Led巨量转移装置及其转移方法。

背景技术

在Micro LED显示面板的制作过程中,巨量转移是关键步骤之一。目前采用转移头吸取Micro LED放置到接收电极的方法,会存在Micro LED偏移预定位置的现象。同时,垂直型Micro LED的侧壁需要被绝缘层保护以防止P侧和N侧短路。

目前采用的方法是先转移LED后制备整面绝缘层,再去除LED表面的绝缘层。

发明内容

本发明的目的在于提供一种解决Micro Led偏移和侧壁保护的问题的及一种Micro Led巨量转移装置及其转移方法。

本发明提供一种Micro Led巨量转移装置,其包括转移Micro LED的转移头、接收Micro LED的接收电极、设置在接收电极上绝缘层以及位于接收电极上且开设在绝缘层上的开孔,其中,所述绝缘层在压力下具有流动性;携带Micro LED的转移头靠近接收电极的同时挤压绝缘层使绝缘层发生形变,绝缘层填充在开孔与Micro LED之间的空隙且MicroLED的侧壁由绝缘层包裹。

优选地,Micro LED固定在绝缘层后,Micro LED的顶端的绝缘层经所述转移头挤压形成凹槽。

优选地,所述绝缘层采用光阻材料制成的。

优选地,所述绝缘层采用正性光阻材料制成的。

优选地,所述绝缘层采用负性光阻材料制成的。

优选地,所述绝缘层的高度为H1,Micro LED的高度为H2,H1大于H2;绝缘层的外径为R1,转移头的外径为R2,R1大于R2;开孔的内径为r1,Micro LED的外径为r2。

优选地,0<H1-H2≤3um;3um<R1-R2;0<r1-r2≤3um。

本发明还提供一种Micro Led巨量转移方法,包括如下步骤:

S1:携带Micro LED的转移头向接收电极靠近;

S2:Micro LED伸入开孔的过程中,转移头靠近接收电极的同时挤压绝缘层使绝缘层发生形变,绝缘层填充在开孔与Micro LED之间的空隙内并把Micro LED的侧壁保护起来;

S3:撤掉转移头。

优选地,Micro LED固定在绝缘层后,Micro LED的顶端不会被绝缘层覆盖,MicroLED的顶端的绝缘层经所述转移头挤压形成凹槽。

本发明Micro Led巨量转移装置及其转移方法,通过绝缘层具有流动性,使在Micro Led巨量转移的过程中同时让绝缘层固定Micro Led,解决Micro Led偏移和侧壁保护的问题。

附图说明

图1为本发明Micro Led巨量转移装置的结构示意图;

图2为图1所示Micro Led巨量转移装置的俯视图;

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