[发明专利]带电粒子束装置

权利要求书

1.一种带电粒子束装置，其具有：

气体导入室，其被导入原料气体；

等离子体生成室，其与气体导入室连接；

线圈，其沿着等离子体生成室的外周卷绕，被施加高频电力；

引出电极，其对从所述等离子体生成室的出口的等离子体开口流出的等离子体施加引出电压；

电流测定部，其测定从所述等离子体开口引出的等离子体的等离子体电流的大小；

引出电压计算部，其根据相对于所述引出电压的变化的由所述电流测定部测定的所述等离子体电流的大小的变化，计算所述引出电压的设定值即引出电压设定值；以及

控制部，其根据所述引出电压计算部计算的所述引出电压设定值对所述引出电压进行控制。

2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其中，

所述电流测定部测定所述等离子体电流中的、从所述等离子体开口流向加速电极的等离子体的加速电流，

所述引出电压计算部计算所述加速电流相对于所述引出电压的变化而饱和的拐点处的所述引出电压作为所述引出电压设定值。

3.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其中，

所述电流测定部测定所述等离子体电流中的、从所述等离子体开口流向所述引出电极的等离子体的引出电极流入电流，

所述引出电压计算部计算所述引出电极流入电流相对于所述引出电压的变化而饱和的拐点处的所述引出电压作为所述引出电压设定值。

4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的带电粒子束装置，其中，

所述引出电压计算部根据相对于所述引出电压的变化的所述等离子体电流的增加量求出拐点，由此计算所述引出电压设定值。

5.根据权利要求1～4中的任意一项所述的带电粒子束装置，其中，

所述引出电压设定值是按照等离子体的每个生成条件而计算的，

所述控制部根据所述引出电压设定值将所述引出电压和等离子体的生成条件对应起来进行控制。