[发明专利]带电粒子束装置

说明书

提供带电粒子束装置。简便地计算引出电压的设定值。带电粒子束装置具有：气体导入室，其被导入原料气体；等离子体生成室，其与气体导入室连接；线圈，其沿着等离子体生成室的外周卷绕，被施加高频电力；引出电极，其对从等离子体生成室的出口的等离子体开口流出的等离子体施加引出电压；电流测定部，其测定从等离子体开口引出的等离子体的等离子体电流的大小；引出电压计算部，其根据相对于引出电压的变化的由电流测定部测定的等离子体电流的大小的变化，计算引出电压的设定值即引出电压设定值；以及控制部，其根据引出电压计算部计算的引出电压设定值对引出电压进行控制。

技术领域

本发明涉及带电粒子束装置。

背景技术

以往，提出了对试样室内的照射对象照射聚焦离子束等带电粒子束的带电粒子束装置(例如专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2017-174730号公报

发明内容

发明要解决的课题

上述这种带电粒子束装置具有引出电极，该引出电极对带电粒子源的开口部(例如等离子体开口(aperture)的开口部)施加电场，由此从带电粒子源引出带电粒子。带电粒子束装置适当控制该引出电极的电压(即引出电压)，由此对带电粒子束的角度扩展。

但是，根据带电粒子束装置的不同，有时带电粒子源的开口部的直径比较小，带电粒子束的角度扩展与引出电压之间的相关性较低。这种情况下，存在很难决定引出电压的设定值这样的问题。

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于，提供能够简便地计算引出电压的设定值的带电粒子束装置。

用于解决课题的手段

本发明的一个方式是一种带电粒子束装置，其具有：气体导入室，其被导入原料气体；等离子体生成室，其与气体导入室连接；线圈，其沿着等离子体生成室的外周卷绕，被施加高频电力；引出电极，其对从所述等离子体生成室的出口的等离子体开口流出的等离子体施加引出电压；电流测定部，其测定从所述等离子体开口引出的等离子体的等离子体电流的大小；引出电压计算部，其根据相对于所述引出电压的变化的由所述电流测定部测定的所述等离子体电流的大小的变化，计算所述引出电压的设定值即引出电压设定值；以及控制部，其根据所述引出电压计算部计算的所述引出电压设定值对所述引出电压进行控制。

此外，在本发明的一个方式的带电粒子束装置中，所述电流测定部测定所述等离子体电流中的、从所述等离子体开口流向加速电极的等离子体的加速电流，所述引出电压计算部计算所述加速电流相对于所述引出电压的变化而饱和的拐点处的所述引出电压作为所述引出电压设定值。

此外，在本发明的一个方式的带电粒子束装置中，所述电流测定部测定所述等离子体电流中的、从所述等离子体开口流向所述引出电极的等离子体的引出电极流入电流，所述引出电压计算部计算所述引出电极流入电流相对于所述引出电压的变化而饱和的拐点处的所述引出电压作为所述引出电压设定值。

此外，在本发明的一个方式的带电粒子束装置中，所述引出电压计算部根据相对于所述引出电压的变化的所述等离子体电流的增加量求出拐点，由此计算所述引出电压设定值。

此外，在本发明的一个方式的带电粒子束装置中，按照等离子体的每个生成条件计算所述引出电压设定值，所述控制部根据所述引出电压设定值将所述引出电压和等离子体的生成条件对应起来进行控制。

发明效果

根据本发明，能够提供能够简便地计算引出电压的设定值的带电粒子束装置。

附图说明

图1是示意地示出本实施方式的带电粒子束装置的结构的图。