[发明专利]晶粒挑拣装置在审
申请号: | 201910887499.5 | 申请日: | 2019-09-19 |
公开(公告)号: | CN112447566A | 公开(公告)日: | 2021-03-05 |
发明(设计)人: | 石敦智;黄良印 | 申请(专利权)人: | 均华精密工业股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人: | 李林 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶粒 挑拣 装置 | ||
本发明提供一种晶粒挑拣装置,包括:一供应单元;一第一翻转单元,其相邻于该供应单元;一取放单元,其相邻于该第一翻转单元;一接收单元,其相邻于该取放单元,并且该接收单元垂直或平行于该供应单元;以及一第二翻转单元,其位于该取放单元与该接收单元之间;其中,该供应单元提供至少一晶粒给该第一翻转单元,该第一翻转单元将该晶粒翻转一第一预定角度,该取放单元接收已翻转至该第一预定角度的该晶粒,该取放单元将该晶粒提供给该第二翻转单元,该第二翻转单元再将该晶粒翻转至一第二预定角度,并将该晶粒提供给该接收单元。
技术领域
本发明涉及一种晶粒挑拣装置,且特别是有关于一种提升晶粒完整性、降低工时与提升效率的装置。
背景技术
现有的晶粒挑拣技术,由供应单元取下晶粒,在移动至承接单元,以将晶粒放置于承接单元。然于实际制程中,供应单元至承接单元的路径较长,故制程需要较长的时间,而使效率较为低落。
虽有厂商为了缩短供应单元至承接单元之间的路径,而将供应单元与承接单元变更为直立式,供应单元系平行于承接单元,以提升效率。但将晶粒由直立式供应单元取下时,晶粒易由直立式供应单元掉落,故虽可提升效率,但晶粒的报废率也提升。
综合上述,现有的晶粒挑拣技术具有效率低、工时较长与报废率高的缺点,所以如何改善现有的晶粒挑拣技术就有可以改善的空间。
发明内容
有鉴于上述的现有的晶粒挑拣技术仍有可改善空间,本发明提供一种晶粒挑拣装置,其将晶粒依序翻转一第一预定角度与一第二预定角度,如此降低晶粒的报废率,以及提升效率与降低工时。
为实现上述目的,本发明采用的技术方案是:
一种晶粒挑拣装置,其特征在于,包括:
一供应单元;
一第一翻转单元,其相邻于该供应单元;
一取放单元,其相邻于该第一翻转单元;
一接收单元,其相邻于该取放单元,并且该接收单元垂直或平行于该供应单元;以及
一第二翻转单元,其位于该取放单元与该接收单元之间;
其中,该供应单元提供至少一晶粒给该第一翻转单元,该第一翻转单元将该晶粒翻转一第一预定角度,该取放单元接收已翻转至该第一预定角度的该晶粒,该取放单元将该晶粒提供给该第二翻转单元,该第二翻转单元再将该晶粒翻转至一第二预定角度,并将该晶粒提供给该接收单元。
所述的晶粒挑拣装置,其中:还具有一第一视觉单元、一第二视觉单元与一第三视觉单元;该第一视觉单元设于该供应单元的上方;该第二视觉单元设于该翻转单元的上方;该第三视觉单元设于该接收单元的上方。
所述的晶粒挑拣装置,其中:还具有一多面检测单元,该多面检测单元相邻于该取放单元。
所述的晶粒挑拣装置,其中:该取放单元具有一旋转模块、至少一自转模块与至少一吸取模块,该自转模块设于该旋转模块,该吸取模块耦接该自转模块。
所述的晶粒挑拣装置,其中:该多面检测单元具有至少一侧视觉模块与一仰视觉模块,该侧视觉模块位于该吸取模块的一侧,该仰视觉模块位于该吸取模块的下方。
所述的晶粒挑拣装置,其中:该供应单元具有一供应载台与至少一顶针,该顶针位于该供应载台的下方。
所述的晶粒挑拣装置,其中:该第一翻转单元具有至少一第一吸取模块与至少一第一转动模块,该第一吸取模块设于该第一转动模块。
所述的晶粒挑拣装置,其中:该第二翻转单元具有至少一第二吸取模块与至少一第二转动模块,该第二吸取模块设于该第二转动模块。
所述的晶粒挑拣装置,其中:该第一吸取模块吸取该晶粒具有锡球的一面具有能够容纳该锡球的空间。
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