[发明专利]研磨头以及研磨装置

权利要求书

1.一种研磨头，该研磨头是用于通过研磨垫来对方形的基板进行研磨的研磨装置的研磨头，该研磨垫安装于研磨台，该研磨头的特征在于，具备：

头主体部；

多个弹性袋，该多个弹性袋设置于所述头主体部的应与所述研磨台相对的表面；以及

基板保持板，该基板保持板用于保持所述基板，并且由所述弹性袋向远离所述头主体部的方向按压该基板保持板，

在所述头主体部设置有袋用流路，该袋用流路与各个所述弹性袋连通，

所述研磨头还具备至少两块支撑板，该至少两块支撑板设置于所述弹性袋与所述基板保持板之间，

所述弹性袋隔着所述支撑板而按压所述基板保持板。

2.如权利要求1所述的研磨头，其特征在于，

所述支撑板的刚性比所述弹性袋的刚性高，

所述基板保持板的刚性比所述弹性袋的刚性高。

3.如权利要求1所述的研磨头，其特征在于，

所述弹性袋配合所述基板的形状而被设置成矩阵状。

4.如权利要求1所述的研磨头，其特征在于，

所述支撑板与所述基板保持板的接触面积的总和比所述支撑板与所述弹性袋的接触面积的总和大。

5.如权利要求1所述的研磨头，其特征在于，

所述弹性袋中的、用于对所述基板的外周部的按压力进行控制的弹性袋的尺寸比其他弹性袋的尺寸小。

6.如权利要求1所述的研磨头，其特征在于，

所述袋用流路中的、与第一弹性袋和第二弹性袋连通的袋用流路合流，

该第一弹性袋用于按压所述基板的某区域，

该第二弹性袋用于按压所述基板中的、处于与被所述第一弹性袋按压的区域对称的位置的区域。

7.如权利要求1所述的研磨头，其特征在于，

在各个所述弹性袋与所述基板保持板之间分别设置有所述支撑板。

8.如权利要求1所述的研磨头，其特征在于，

构成为第三弹性袋和第四弹性袋共用相同的所述支撑板，

该第三弹性袋用于按压所述基板的某区域，

该第四弹性袋用于按压所述基板中的、处于与被所述第三弹性袋按压的区域对称的位置的区域。

9.如权利要求1所述的研磨头，其特征在于，

还具备软质中间板，该软质中间板设置于所述基板保持板与所述支撑板之间。

10.一种研磨装置，其特征在于，具备：

研磨台，该研磨台用于可装卸地安装研磨垫，并且在该研磨台安装有所述研磨垫；以及

如权利要求1所述的研磨头，该研磨头与所述研磨台相对。

11.如权利要求10所述的研磨装置，其特征在于，

还具备压力调节机构，该压力调节机构与所述袋用流路连接。