[发明专利]一种石墨舟的缓存导正装置及管式PECVD设备

权利要求书

1.一种石墨舟的缓存导正装置，所述石墨舟具有位于其基准平面上的X轴与Y轴以及垂直于所述基准平面的Z轴,所述石墨舟沿着X轴方向延伸并且在其底部固接有在X轴方向上对称设置的定位导向组件，其特征在于，所述缓存导正装置包括：

底座(340)，其位于所述石墨舟的正下方；

两组校正机构(310)，在所述石墨舟的下落缓存过程中，每一组所述校正机构(310)与相应一组所述定位导向组件相配合；以及

感应组件(350)，其包括触发组件(330)和响应组件(320)；

其中，两组所述校正机构(310)在X轴方向上对称设置于所述底座(340)的两侧，以使得每一组所述校正机构(310)位于相应一组所述定位导向组件的正下方，所述感应组件(350)固定于所述底座(340)的一侧且位于两组所述校正机构(310)之间。

2.如权利要求1所述的石墨舟的缓存导正装置，其特征在于，所述触发组件(330)包括：

感应触碰块(331)，其设置于所述触发组件(330)的上端；

至少两个导向杆(332)，其包括压块浮动导向轴(3322)和压块浮动弹簧(3321)；

感应压块(333)，其固定连接所述导向杆(332)；

其中，所述感应触碰块(331)、所述导向杆(332)和所述感应压块(333)依次连接，且贯穿于连接板(334)。

3.如权利要求2所述的石墨舟的缓存导正装置，其特征在于，所述感应触碰块(331)和所述感应压块(333)分别突出于所述连接板(334)。

4.如权利要求1所述的石墨舟的缓存导正装置，其特征在于，所述响应组件(320)位于所述触发组件(330)的下方。

5.如权利要求1所述的石墨舟的缓存导正装置，其特征在于，所述响应组件(320)包括：

微动开关固定板(321)，其将所述响应组件(320)固定于所述底座(340)上；

感应微动开关(322)，其上端设有一翘板机构。

6.如权利要求1所述的石墨舟的缓存导正装置，其特征在于，所述校正机构(310)包括：

滚轮导正组件(312)，其调整所述石墨舟长边方向上的偏差；

仿形定位组件(311)，其位于所述滚轮导正组件(312)在X轴方向上的旁侧，并且所述仿形定位组件(311)的结构及尺寸与所述石墨舟的定位导向组件的形状相匹配。

7.如权利要求6所述的石墨舟的缓存导正装置，其特征在于，所述滚轮导正组件(312)包括：

内部支撑轴(3122)，其将所述滚轮导正组件(312)固定于所述底座(340)上；

导向转动轴套(3121)，其与所述底座(340)之间有间隙；

轴承(3123)，其位于所述内部支撑轴(3122)和所述导向转动轴套(3121)之间；

其中，所述内部支撑轴(3122)、导向转动轴套(3121)和所述轴承(3123)之间同轴安装。

8.一种管式PECVD设备，其特征在于，其包含有根据权利要求1～7中任一项所述的石墨舟的缓存导正装置。