[发明专利]一种石墨舟的缓存导正装置及管式PECVD设备

说明书

本发明公开了一种石墨舟的缓存导正装置及管式PECVD设备，该石墨舟的缓存导正装置包括：底座，其将各个组件固定；至少两组校正机构，其调整石墨舟的位置；以及感应组件，其包括触发组件和响应组件；其中，两两所述校正机构对称设置于所述底座的两侧，所述感应组件固定于所述底座的一侧且位于两两所述校正机构之间。本案的石墨舟的缓存导正装置有效防止石墨舟由缓存架上反复取放的过程中，对石墨舟造成划伤破损，导致石墨舟定位偏差加大、石墨舟掉落、石墨舟维护成本升高等问题的出现。

技术领域

本发明涉及太阳能电池制备领域，特别涉及一种石墨舟的缓存导正装置及管式PECVD设备。

背景技术

在太阳能电池制备领域中，采用PEVCD方式在电池表面上沉积形成减反膜是众所周知中，在沉积过程中往往需要用到用于提供沉积反应空间的管式真空加热设备。在研究和优化PEVCD沉积工艺的过程中，发明人发现现有技术中的石墨舟的缓存导正装置至少存在如下问题：

随着PECVD设备的产能要求越来越高，由最初的单管240片发展到现在的432片，PECVD设备也由当初的两管发展到现在的五管，参照设备的工艺时间一般设备中仅配备一套机械手取放模组，故石墨舟被放入工艺腔以及由工艺腔中取出的过程中需要放置在多层缓存架中进行缓存，并且工艺完成后的石墨舟为热舟，需通过机械手取放模组将石墨舟放置于缓存架中进行散热，散热完成将石墨舟取走。在将石墨舟由缓存架上反复取放的过程中，不可避免的对石墨舟造成划伤破损，导致石墨舟定位偏差加大、石墨舟掉落、石墨舟维护成本升高等问题的出现。

有鉴于此，实有必要开发一种石墨舟的缓存导正装置，用以解决上述问题。

发明内容

针对现有技术中存在的不足之处，本发明的目的是提供一种石墨舟的缓存导正装置，其通过底座，其将各个组件固定；至少两组校正机构，其调整石墨舟的位置；以及感应组件，其包括触发组件和响应组件；其中，两两所述校正机构对称设置于所述底座的两侧，所述感应组件固定于所述底座的一侧且位于两两所述校正机构之间，有效防止石墨舟由缓存架上反复取放的过程中，对石墨舟造成划伤破损，导致石墨舟定位偏差加大、石墨舟掉落、石墨舟维护成本升高等问题的出现。

为了实现根据本发明的上述目的和其他优点，提供了一种石墨舟的缓存导正装置，包括：

底座，其位于所述石墨舟的正下方；

两组校正机构，在所述石墨舟的下落缓存过程中，每一组所述校正机构与相应一组所述定位导向组件相配合；以及

感应组件，其包括触发组件和响应组件；

其中，两组所述校正机构在X轴方向上对称设置于所述底座的两侧，以使得每一组所述校正机构位于相应一组所述定位导向组件的正下方，所述感应组件固定于所述底座的一侧且位于两组所述校正机构之间。

优选的是，所述触发组件包括：

感应触碰块，其设置于所述触发组件的上端；

至少两个导向杆，其包括压块浮动导向轴和压块浮动弹簧；

感应压块，其固定连接所述导向杆；

其中，所述感应触碰块、所述导向杆和所述感应压块依次连接，且贯穿于连接板。

优选的是，所述感应触碰块和所述感应压块分别突出于所述连接板。

优选的是，所述响应组件位于所述触发组件的下方。

优选的是，所述响应组件包括：

微动开关固定板，其将所述响应组件固定于所述底座上；

感应微动开关，其上端设有一翘板机构。

优选的是，所述校正机构包括：