[发明专利]一种缸槽晶片检测系统在审
| 申请号： | 201910891341.5 | 申请日： | 2019-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN112540372A | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 冯德利 | 申请（专利权）人： | 和舰芯片制造（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01S15/89 | 分类号： | G01S15/89;G01S15/04 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 杨帆 |
| 地址： | 215025 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶片 检测 系统 | ||
1.一种缸槽晶片检测系统，其特征在于，所述缸槽晶片检测系统包括声纳装置，控制器以及缸槽，所述声纳装置设置在所述缸槽的缸壁上，所述声纳装置与所述控制器通信联接。
2.根据权利要求1所述的缸槽晶片检测系统，其特征在于，所述控制器包括：
操作系统；
显示系统；以及
锁定系统，所述锁定系统与所述操作系统相互联接。
3.根据权利要求2所述的缸槽晶片检测系统，其特征在于，所述声纳装置包括信号发射部件与信号接收部件，所述信号发射部件发射出的发射信号与所述发射信号覆盖范围内的物体相互作用后，向所述信号接收部件反馈接收信号，所述操作系统与所述声纳装置的所述信号接收部件通信联接。
4.根据权利要求3所述的缸槽晶片检测系统，其特征在于，由所述操作系统设置声纳装置异常信号检测区间。
5.根据权利要求4所述的缸槽晶片检测系统，其特征在于，所述显示系统显示所述检测区间的声纳信号是否出现异常。
6.根据权利要求1所述的缸槽晶片检测系统，其特征在于，所述锁定系统与所述晶片移动装置联接，用于终止所述晶片移动装置的晶片放入操作。
7.根据权利要求1所述的缸槽晶片检测系统，其特征在于，所述声纳装置可拆卸地设置在所述缸槽的缸壁上。
8.根据权利要求1所述的缸槽晶片检测系统，其特征在于，还包括警报系统，所述警报系统与所述操作系统相联接。
9.根据权利要求8所述的缸槽晶片检测系统，其特征在于，所述操作系统可操作地设置警报时间阈值，所述晶片移动装置的锁定时间超过所述警报时间阈值时，所述操作系统触发警报系统发出警报信号。
10.根据权利要求1-9中任一项所述的缸槽晶片检测系统，其特征在于，所述异常信号检测区间出现晶片残留时，所述信号装置显示所述检测区间的所述声纳信号异常；所述控制器激活所述锁定系统和所述警报系统，所述锁定系统终止所述晶片移动装置的晶片放入操作；所述警报系统发出蜂鸣警报和/或光警报。
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