[发明专利]一种缸槽晶片检测系统

说明书

本发明涉及一种缸槽晶片检测系统，该缸槽晶片检测系统包括声纳装置，控制器以及缸槽，声纳装置设置在缸槽的缸壁上，且该声纳装置与控制器相互联接。在晶片移动装置将缸槽中的晶片取出后，声纳装置检测缸槽中是否存在晶片破片残留。若在晶片移动装置将缸槽中的晶片取出后，声纳装置检测到缸槽中存在晶片破片残留，则锁定晶片移动装置，使晶片移动装置停止将后续的晶片继续放入缸槽中。本发明提出的缸槽晶片检测系统可以检测缸槽中的晶片破片残留，并实现在缸槽中存在晶片破片的情况下自动使晶片移动装置停机，以防止晶片破片与后续放入的晶片发生二次碰撞造成更大的危害。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种缸槽晶片检测系统。

背景技术

半导体的制造包含各种不同的处理，在很多工艺环节中，需要通过机械装置对晶片进行转移。

如图1所示的现有技术，在晶片的硫酸处理过程中，需要通过机械手臂将晶片8从传送缸槽1转移至化学缸槽2中，并在后续过程中，需要再次通过机械手臂将晶片8从化学缸槽2转移至清洗缸槽3中。

在化学缸槽2中晶片8表面光阻和化学液体(例如酸液)反应产生气体，导致晶片8在缸槽内有漂动，容易与晶片导轨错位，机械手臂夹取错位的晶片时容易导致晶片8破碎。破片残留在缸槽内，下组晶片8进入此缸槽时，将会发生二次晶片撞片，造成后进入缸槽的晶片倾斜和/或破片，影响产品的制造及加工。

图2所示的是现有技术中的一种光传感检测装置7，其中的光传感器包括发射器5和接收器6，可检测是否仍有晶片破片4残留在缸槽中，当光传感器检测到通过缸槽的激光束时，即表示缸槽中没有晶片残留。然而，该现有技术并不能检测到残留在缸槽底部以及其余不在激光束路径上的部分的晶片8或晶片破片4，因此这些碎片将继续损害整个系统设备。并且光传感器对缸槽以及液体的透明度要求很高。

因此，目前急需一种能够更有效地检测晶片破片的装置，该装置还能够运用于不透明的缸槽中，并且能够实现缸槽中出现晶片残留时锁定机械手臂，防止破片残留造成更大的灾害。

发明内容

为克服上述现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种缸槽晶片检测系统，可以实现不同缸槽中不同位置的晶片破片检测，并在缸槽中存在晶片破片残留的情况下，增加了终止晶片继续放入过程的功能。

为达上述及其它目的，本发明提出一种缸槽晶片检测系统，该缸槽晶片检测系统包括声纳装置，控制器以及缸槽，声纳装置设置在缸槽的缸壁上，声纳装置与控制器通信联接。

根据本发明的一些实施例，控制器包括：操作系统；显示系统；以及锁定系统，锁定系统与操作系统相互联接。

根据本发明的一些实施例，声纳装置包括信号发射部件与信号接收部件，信号发射部件发射出的发射信号与发射信号覆盖范围内的物体相互作用后，向信号接收部件反馈接收信号，操作系统与声纳装置的信号接收部件通信联接。

根据本发明的一些实施例，由操作系统设置声纳装置异常信号检测区间。

根据本发明的一些实施例，显示系统显示检测区间的声纳信号是否出现异常。

根据本发明的一些实施例，锁定系统与晶片移动装置联接，用于终止晶片移动装置的晶片放入操作。

根据本发明的一些实施例，声纳装置可拆卸地设置在缸槽的缸壁上。

根据本发明的一些实施例，还包括警报系统，警报系统与操作系统相联接。

根据本发明的一些实施例，操作系统可操作地设置警报时间阈值，晶片移动装置的锁定时间超过警报时间阈值时，操作系统触发警报系统发出警报信号。

根据本发明的一些实施例，异常信号检测区间出现晶片残留时，信号装置显示检测区间的声纳信号异常；控制器激活锁定系统和警报系统，锁定系统终止晶片移动装置的晶片放入操作；警报系统发出蜂鸣警报和/或光警报。