[发明专利]掩膜板遮蔽叶片剐蹭监控系统

权利要求书

1.一种掩膜板遮蔽叶片剐蹭监控系统，用于监控掩膜板遮蔽叶片与杆积分器壳体之间的剐蹭，其特征在于，所述掩膜板遮蔽叶片剐蹭监控系统包括：

压力检测模块，设置于所述杆积分器壳体与所述掩膜板遮蔽叶片相对的端面，用于检测所述掩膜板遮蔽叶片与所述端面之间的压力；

模数转换模块，与所述压力检测模块连接并将其输出信号转换为数字信号；以及

监控模块，用于接收所述模数转换模块的数字信号并根据所述数字信号输出所述压力检测模块的检测结果。

2.根据权利要求1所述的掩膜板遮蔽叶片剐蹭监控系统，其特征在于，所述端面配置为多个检测子区域，所述压力检测模块的数量为多个且分别设置于不同的检测子区域，以分别检测对应的检测子区域与所述掩膜板遮蔽叶片之间的压力。

3.根据权利要求2所述的掩膜板遮蔽叶片剐蹭监控系统，其特征在于，各检测子区域于所述端面上沿周向分布。

4.根据权利要求3所述的掩膜板遮蔽叶片剐蹭监控系统，其特征在于，各检测子区域的面积相等。

5.根据权利要求2所述的掩膜板遮蔽叶片剐蹭监控系统，其特征在于，各压力检测模块规格相同。

6.根据权利要求1所述的掩膜板遮蔽叶片剐蹭监控系统，其特征在于，所述压力检测模块为力敏电阻阵列，所述力敏电阻阵列包括多个力敏电阻。

7.根据权利要求6所述的掩膜板遮蔽叶片剐蹭监控系统，其特征在于，所述力敏电阻为贴片式力敏电阻。

8.根据权利要求7所述的掩膜板遮蔽叶片剐蹭监控系统，其特征在于，所述贴片式力敏电阻贴覆于所述端面且所述贴片式力敏电阻的表面与所述端面平行。

9.根据权利要求1所述的掩膜板遮蔽叶片剐蹭监控系统，其特征在于，还包括剐蹭程度检测模块，与所述压力检测模块连接以接收所述压力检测模块的输出信号，用于根据所述输出信号将所述掩膜板遮蔽叶片与所述杆积分器壳体之间的剐蹭程度分为多个等级。

10.根据权利要求9所述的掩膜板遮蔽叶片剐蹭监控系统，其特征在于，所述输出信号为电压信号，所述剐蹭程度检测模块包括多个并联且具有不同阈值的压敏电阻。

11.根据权利要求9所述的掩膜板遮蔽叶片剐蹭监控系统，其特征在于，所述剐蹭程度检测模块还用于与伺服系统连接，所述伺服系统与机台连接并控制所述机台运行，所述剐蹭程度检测模块还用于在所述剐蹭程度超过预设等级时通过所述伺服系统控制所述机台停止运行。

12.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括信号放大模块，用于接收所述压力检测模块的输出信号并将其放大后发送到所述模数转换模块。

13.根据权利要求12所述的掩膜板遮蔽叶片剐蹭监控系统，其特征在于，所述信号放大模块用于将所述压力检测模块的输出电压放大150倍。

14.根据权利要求1所述的掩膜板遮蔽叶片剐蹭监控系统，其特征在于，还包括信号转接器，与所述模数转换模块连接。

15.根据权利要求14所述的掩膜板遮蔽叶片剐蹭监控系统，其特征在于，所述信号转接器采用RJ45接口。

16.根据权利要求14所述的掩膜板遮蔽叶片剐蹭监控系统，其特征在于，还包括集线器，与所述信号转接器连接，且与所述监控模块连接，所述集线器的上传速度不小于50Mbps。

17.根据权利要求1所述的掩膜板遮蔽叶片剐蹭监控系统，其特征在于，所述压力检测模块上设有电源连接线和信号连接线，所述电源连接线用于将所述压力检测模块与电源连接以为其供电，所述信号连接线用于输出所述压力检测模块的输出信号，所述电源连接线和所述信号连接线的直径不超过2毫米。