[发明专利]掩膜板遮蔽叶片剐蹭监控系统

说明书

本发明涉及一种掩膜板遮蔽叶片剐蹭监控系统。一种掩膜板遮蔽叶片剐蹭监控系统，用于监控掩膜板遮蔽叶片与杆积分器壳体之间的剐蹭，所述掩膜板遮蔽叶片剐蹭监控系统包括：压力检测模块，设置于所述杆积分器壳体与所述掩膜板遮蔽叶片相对的端面，用于检测所述掩膜板遮蔽叶片与所述端面之间的压力；模数转换模块，与所述压力检测模块连接并将其输出信号转换为数字信号；以及监控模块，用于接收所述模数转换模块的数字信号并根据所述数字信号输出所述压力检测模块的检测结果。上述掩膜板遮蔽叶片剐蹭监控系统可以使得用户可以通过监控系统监控掩膜板遮蔽叶片与端面之间的剐蹭，使得避免刮伤掩膜板遮蔽叶片。

技术领域

本发明涉及半导体光刻技术领域，特别是涉及掩膜板遮蔽叶片剐蹭监控系统。

背景技术

半导体光刻技术领域中在采用光刻法将电路图案转移到半导体衬底上时常将掩膜板遮蔽(REMA，reticle masking)装置设置于光源与掩膜板之间，掩膜板遮蔽装置通常配置有多个掩膜板遮蔽叶片(REMA Blade)，通过分别控制掩膜板遮蔽叶片在相互垂直的两个方向上的运动以控制它们之间的间隙位置及大小，从而控制掩膜板上被曝光的区域。其中，光源需要经过杆积分器(integrator rod)处理后投射至板掩蔽装置，且杆积分器外常设置有杆积分器壳体(integrator rod housing)以保持布置在光路上的杆积分器，使得在于投射类型图像显示装置的照射光光学系统等中的光轴垂直的平面内的光通量密度均匀。

由于杆积分器壳体与掩膜板遮蔽叶片之间的间距较小，故在掩膜板遮蔽叶片运动时常与杆积分器壳体之间发生剐蹭，从而刮伤掩膜板遮蔽叶片使得影响产品良率，并且在该剐蹭严重时还会造成机台宕机使得影响产量。

发明内容

基于此，有必要针对掩膜板遮蔽叶片运动时与杆积分器壳体之间发生剐蹭的问题，提供一种掩膜板遮蔽叶片剐蹭监控系统。

一种掩膜板遮蔽叶片剐蹭监控系统，用于监控掩膜板遮蔽叶片与杆积分器壳体之间的剐蹭，所述掩膜板遮蔽叶片剐蹭监控系统包括：压力检测模块，设置于所述杆积分器壳体与所述掩膜板遮蔽叶片相对的端面，用于检测所述掩膜板遮蔽叶片与所述端面之间的压力；模数转换模块，与所述压力检测模块连接并将其输出信号转换为数字信号；以及监控模块，用于接收所述模数转换模块的数字信号并根据所述数字信号输出所述压力检测模块的检测结果。

在其中一个实施例中，所述端面配置为多个检测子区域，所述压力检测模块的数量为多个且分别设置于不同的检测子区域，以分别检测对应的检测子区域与所述掩膜板遮蔽叶片之间的压力。

在其中一个实施例中，各检测子区域于所述端面上沿周向分布。

在其中一个实施例中，各检测子区域的面积相等。

在其中一个实施例中，各压力检测模块规格相同。

在其中一个实施例中，所述压力检测模块为力敏电阻阵列，所述力敏电阻阵列包括多个力敏电阻。

在其中一个实施例中，所述力敏电阻为贴片式力敏电阻。

在其中一个实施例中，所述贴片式力敏电阻贴覆于所述端面且所述贴片式力敏电阻的表面与所述端面平行。

在其中一个实施例中，还包括剐蹭程度检测模块，与所述压力检测模块连接以接收所述压力检测模块的输出信号，用于根据所述输出信号将所述掩膜板遮蔽叶片与所述杆积分器壳体之间的剐蹭程度分为多个等级。

在其中一个实施例中，所述输出信号为电压信号，所述剐蹭程度检测模块包括多个并联且具有不同阈值的压敏电阻。

在其中一个实施例中，所述剐蹭程度检测模块还用于与伺服系统连接，所述伺服系统与机台连接并控制所述机台运行，所述剐蹭程度检测模块还用于在所述剐蹭程度超过预设等级时通过所述伺服系统控制所述机台停止运行。