[发明专利]冷却系统及冷却方法

权利要求书

1.一种冷却系统，其特征在于，包含：

一贮槽，用以容纳一第一液体；

一导管，耦接到该贮槽并且用以从该贮槽递送该第一液体；

一冷却器，覆盖该导管以冷却由该导管递送的该第一液体；以及

一浓度计，用以量测由该冷却器冷却的该第一液体的一浓度。

2.根据权利要求1所述的冷却系统，其特征在于，该冷却器包含覆盖该导管的一水冷却设备，且该水冷却设备包含围绕该导管设置的一螺旋软管。

3.根据权利要求1所述的冷却系统，其特征在于，进一步包含：

一泵，耦接到该冷却器及该浓度计，其中该泵用以移动该冷却器中的一第二液体来用于冷却由该导管递送的该第一液体，并且根据该第一液体的该浓度将该第二液体提供到该贮槽中。

4.根据权利要求1所述的冷却系统，其特征在于，进一步包含：

一第一泵，耦接到该浓度计，其中该第一泵用以根据该第一液体的该浓度将第二液体提供到该贮槽中；以及

一第二泵，耦接到该冷却器并且邻近该浓度计设置，其中该第二泵与该第一泵并联设置，其中该第二泵用以移动该冷却器中的该第二液体，以冷却由该导管递送的该第一液体。

5.一种冷却系统，其特征在于，包含：

一清洁装置，包含：

一贮槽，用以容纳一第一液体；以及

一管道，耦接到该贮槽，其中该第一液体在该管道及该贮槽内部循环流动；以及

一浓度量测装置，包含：

一导管，耦接到该管道并用以从该管道递送该第一液体；

一冷却器，覆盖该导管以冷却由该导管递送的该第一液体；

一浓度计，用以量测由该冷却器冷却的该第一液体的一浓度；以及

一风扇，设置在该浓度计的一侧面以冷却该浓度量测装置。

6.根据权利要求5所述的冷却系统，其特征在于，该清洁装置进一步包含用于控制该第一液体在该管道中的一流动路径的至少一空气阀门，并且将用于控制该至少一空气阀门的空气递送到该冷却器来用于控制由该导管递送的该第一液体。

7.根据权利要求5所述的冷却系统，其特征在于，该浓度量测装置进一步包含：

一泵，耦接到该冷却器及该浓度计，其中该泵用以移动该冷却器中的一第二液体，以冷却由该导管递送的该第一液体，并且根据该第一液体的该浓度将该第二液体提供到该管道中。

8.根据权利要求5所述的冷却系统，其特征在于，该浓度量测装置进一步包含：

一第一泵，耦接到该浓度计，其中该第一泵用以根据该第一液体的该浓度将一第二液体提供到该管道中；以及

一第二泵，耦接到该冷却器并且邻近该浓度计设置，其中该第二泵与该第一泵并联设置，其中该第二泵用以移动该冷却器中的该第二液体以冷却由该导管递送的该第一液体。

9.一种冷却方法，其特征在于，包含：

经由一导管从一贮槽导出处于一第一温度的一第一液体；

通过覆盖该导管的一冷却器，将由该导管递送的该第一液体冷却到一第二温度；

量测处于该第二温度的该第一液体的一浓度，该第一液体是由该导管递送；

根据该第一液体的该浓度将一第二液体提供到该贮槽中；以及

将该第一液体加热到该第一温度以移除由制造流程产生的一半导体装置的复数残余物。

10.根据权利要求9所述的冷却方法，其特征在于，通过覆盖该导管的该冷却器，将由该导管递送的该第一液体冷却到该第二温度包含：

通过包含围绕该导管设置的一螺旋软管的一水冷却设备，将由该导管递送的该第一液体冷却到该第二温度。