[发明专利]冷却系统及冷却方法

说明书

本揭示提供了一种冷却系统及冷却方法。此系统包括贮槽、导管、冷却器、及浓度计。贮槽用以容纳第一液体。导管耦接到贮槽并且用以从贮槽递送第一液体。冷却器覆盖导管以冷却由导管递送的第一液体。浓度计用以量测由冷却器冷却的第一液体的浓度。

技术领域

本揭示是关于一种冷却技术，并进一步关于一种残余物处理技术。

背景技术

归因于制造要求，应当移除每个制造流程中的半导体的残余物。然而，没有足够的移除半导体残余物的方式。由此，充分且精确地移除半导体残余物成为半导体技术领域中的关键问题。

发明内容

本揭露提供一种冷却系统，包含一贮槽、一导管、一冷却器以及一浓度计。贮槽用以容纳一第一液体。导管耦接到该贮槽并且用以从该贮槽递送该第一液体。冷却器覆盖该导管以冷却由该导管递送的该第一液体。浓度计用以量测由该冷却器冷却的该第一液体的一浓度。

本揭露亦提供一种冷却系统，包含一清洁装置及一浓度量测装置。清洁装置，包含一贮槽及一管道。贮槽用以容纳一第一液体。管道耦接到该贮槽，且第一液体在管道及贮槽内部循环流动。浓度量测装置，包含一导管、一冷却器、一浓度计以及一风扇。导管耦接到该管道并用以从该管道递送该第一液体。冷却器覆盖该导管以冷却由该导管递送的该第一液体。浓度计用以量测由该冷却器冷却的该第一液体的一浓度。风扇设置在该浓度计的一侧面以冷却该浓度量测装置。

本揭露亦提供一种冷却方法，包含：经由导管从贮槽导出处于第一温度的第一液体，通过覆盖导管的冷却器，将由导管递送的第一液体冷却到第二温度，量测处于第二温度的第一液体的浓度，第一液体是由导管递送。根据第一液体的浓度将第二液体提供到贮槽中，将第一液体加热到第一温度以移除由制造流程产生的半导体装置的残余物。

附图说明

当结合随附附图阅读时，将自以下详细描述最佳地理解本揭示的态样。应注意，根据工业中的标准实务，各个特征并非按比例绘制。事实上，出于论述清晰的目的，可任意增加或减小各个特征的尺寸。

图1是根据本揭示各个实施例的系统示意图；

图2是根据本揭示各个实施例中，说明图1中系统操作的方法流程图；

图3是根据本揭示各个实施例中，如图1所示系统的冷却器示意图；

图4是根据本揭示各个实施例中，如图1所示系统的冷却器示意图；

图5是根据本揭示各个实施例中，如图1所示系统的冷却器示意图；

图6是根据本揭示各个实施例的系统示意图；

图7是根据本揭示各个实施例的系统示意图；

图8是根据本揭示各个实施例的系统示意图；

图9是根据本揭示各个实施例中，如图8所示系统的冷却器示意图；

图10是根据本揭示各个实施例中，如图1中所示半导体装置的剖面图；

图11是根据本揭示各个实施例中，如图1中所示半导体装置的剖面图；

图12是根据本揭示各个实施例中，如图1中所示半导体装置的剖面图。

【符号说明】

100 清洁装置

110 贮槽

112 内贮槽

114、116 外贮槽

120、170 管道

121、123、125、127、129 阀门

130 泵