[发明专利]一种彩色滤光片光刻胶剥离液组合物在审
申请号: | 201910896784.3 | 申请日: | 2019-09-18 |
公开(公告)号: | CN110597025A | 公开(公告)日: | 2019-12-20 |
发明(设计)人: | 刘江华;付元涛;章小琴 | 申请(专利权)人: | 华璞微电子科技(宁波)有限公司 |
主分类号: | G03F7/42 | 分类号: | G03F7/42 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 315500 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 玻璃基板 剥离 光刻胶剥离液 极性有机溶剂 彩色滤光片 环境无污染 强碱性物质 微电子材料 有机挥发物 质量百分比 剥离性能 低沸点 稳定剂 有机胺 无毒 | ||
1.一种彩色滤光片光刻胶剥离液组合物,其特征在于,按质量百分比计,所述的组合物包括以下组分:无机强碱性物质0.5-45%、有机胺0.1-50%、极性有机溶剂0.1-55%、稳定剂0.1-20%和水30-99.2%。
2.根据权利要求1所述的一种彩色滤光片光刻胶剥离液组合物,其特征在于,按质量百分比计,所述的组合物包括以下组分:无机强碱性物质3-30%、有机胺0.5-30%、极性有机溶剂0.2-40%、稳定剂0.2-15%和水40-96.1%。
3.根据权利要求1所述的一种彩色滤光片光刻胶剥离液组合物,其特征在于,所述的无机强碱性物质是氢氧化钾、氢氧化钠、氢氧化锂、碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢钠、碳酸氢钾、硅酸钠、氢氧化钡中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的一种彩色滤光片光刻胶剥离液组合物,其特征在于,所述的有机胺是羟胺、N,N-二甲基羟胺、N-异丙基羟胺、单乙醇胺、N,N-二甲基乙醇胺、N,N-二乙基乙醇胺、异丙醇胺、二异丙醇胺、三异丙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、正丙醇胺、2-氨基乙醇胺、乙基二乙醇胺、N-(2-氨基乙基)乙醇胺、二甘醇胺中的至少一种。
5.根据权利要求1所述的一种彩色滤光片光刻胶剥离液组合物,其特征在于,所述的极性有机溶剂是二乙二醇单丁醚、三乙二醇单丁醚、二丙二醇单甲醚、三丙二醇单甲醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇己醚、丙二醇正丁醚、苯甲醇、苯乙醇、苯丙醇、乙二醇苯醚、丙二醇苯醚、乙氧基苯甲醇、丙二醇正丙醚、二丙二醇正丙醚、正戊醇、2-甲基丁醇、N-甲基吡咯烷酮、柠檬烯中的至少一种。
6.根据权利要求1所述的一种彩色滤光片光刻胶剥离液组合物,其特征在于,所述的稳定剂是脂肪酸,稳定剂是芥酸、油酸、亚油酸、硬脂酸、棕榈酸、肉豆蔻酸、月桂酸、正癸酸、正壬酸、正辛酸、正庚酸、正己酸、正戊酸、正丁酸、椰子油酸、辛癸酸、甲基丙烯酸、异辛酸、异壬酸、癸二酸、柠檬酸中的至少一种。
7.根据权利要求1所述的一种彩色滤光片光刻胶剥离液组合物,其特征在于,所述的水是电阻值大于2MΩ/cm的去离子水。
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