[发明专利]一种彩色滤光片光刻胶剥离液组合物

说明书

本发明公开了一种彩色滤光片光刻胶剥离液组合物，属于微电子材料技术领域，关键在于，按质量百分比计，所述的组合物包括以下组分：无机强碱性物质0.5‑45％、有机胺0.1‑50％、极性有机溶剂0.1‑55％、稳定剂0.1‑20％和水30‑99.2％。本发明的组合物具有剥离性能强、剥离时间短、操作温度低以及对玻璃基板腐蚀性小等优点，剥离之后玻璃基板可以重复使用。同时该组合物还具有无毒无腐蚀性、无低沸点有机挥发物、对环境无污染、低泡等特点。

技术领域

本发明属于微电子材料技术领域，涉及到一种组合物，特别是一种彩色滤光片光刻胶剥离液组合物，用于选择性的剥离负载在不良彩色滤光片玻璃基板上的彩色光刻胶，使得剥离后的玻璃基板可以再重复使用。

背景技术

彩色滤光片(Color Filter，CF)是由红(R)、绿(G)、蓝(B)三种颜色组成的滤色膜，有规律地制作在一块玻璃基板上，利用滤光的原理，产生红、绿、蓝三种颜色，根据驱动IC控制电压的不同，三种颜色以不同种类混合产生各式各样的色彩。彩色滤光片是液晶显示器(TFT-LCD)面板实现彩色化显示的关键原材料，此外，彩色滤光片还可应用于OLED等其他平板显示产品。彩色滤光片的生产技术包括染色法、电沉积法、印刷法、颜料分散法等，其中采用颜料分散法制作的CF具有高精度及较佳的耐光性与耐热性，已成为国际上制作彩色滤光片的主流方法。

以颜料分散法制造CF的过程是：首先在玻璃基板上制作黑色矩阵，定义出像素和子像素的图案；接着利用涂胶、光刻和显影等工艺在黑色矩阵(BM)上制作红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)三个彩色层，最后制作保护层。

目前，在彩色滤光片的生产过程中，难免会产生一些不良品，而且负载在玻璃基板表面的彩色光刻胶一旦固化或硬化，将无法对其修复。如果不设法去除负载在不良玻璃基板上的彩色光刻胶，则该玻璃基板就只能作为废品处理掉，浪费了大量资源。为了能够再重复使用玻璃基板，需要剥离掉负载在其表面已经硬化的彩色光刻胶。现有技术中，主要是利用CF重工液对其进行处理。现有技术中，TW200727093A公开了一种彩色抗蚀剂剥离液组合物，该组合物包括无机氢氧化物、极性硫化物、烯烃基乙二醇醚、烯烃基乙二醇二烷基醚、水溶性胺化合物和水。TW200506552A公开了一种剥离液组合物，该组合物含有无机氢氧化物或氢氧化烷胺盐、二甲亚砜和水。专利申请文件CN201611031641.9公开了一种彩色抗蚀剂剥离液组合物，该组合物包含无机碱或其盐混合物、包含羟基的季铵盐化合物、一种特殊结构的胺化合物、极性有机溶剂和水。专利文件CN201010140213.6公开了一种用于剥离滤色片的组合物，该组合物含有氢氧化钾和二醇。专利申请文件CN201611102748.8公开了一种彩色抗蚀剂或有机膜剥离液组合物，该组合物含有季铵盐化合物、极性有机溶剂、亚烷基二醇烷基醚、肼衍生物化合物、无机碱或其盐化合物和水。由于彩色滤光片制程中所使用的彩色光刻胶是负型光刻胶，光照之后发生交联反应，使得固化之后的彩色光刻胶更加难以去除。上述已公开的文件都存在彩色滤光片光刻胶剥离效果差、剥离时间长、操作温度高、味道严重以及腐蚀玻璃基板等缺点。

发明内容

本发明为了克服现有技术的缺陷，设计了一种彩色滤光片光刻胶剥离液组合物，该组合物具有剥离性能强，剥离时间短，操作温度低以及对玻璃基板腐蚀性小等优点，剥离之后玻璃基板可以重复使用。

本发明所采取的具体技术方案是：一种彩色滤光片光刻胶剥离液组合物，关键在于，按质量百分比计，所述的组合物包括以下组分：无机强碱性物质0.5-45％、有机胺0.1-50％、极性有机溶剂0.1-55％、稳定剂0.1-20％和水30-99.2％。

按质量百分比计，所述的组合物包括以下组分：无机强碱性物质3-30％、有机胺0.5-30％、极性有机溶剂0.2-40％、稳定剂0.2-15％和水40-96.1％。

所述的无机强碱性物质是氢氧化钾、氢氧化钠、氢氧化锂、碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢钠、碳酸氢钾、硅酸钠、氢氧化钡中的至少一种。