[发明专利]声波装置

权利要求书

1.一种声波装置，该声波装置包括：

第一基板，该第一基板具有第一表面和第二表面，所述第二表面是所述第一基板的与所述第一表面相反的表面；

声波元件，该声波元件位于所述第一表面上；

布线部分，该布线部分通过穿通孔将所述声波元件和金属部分电连接，所述金属部分位于所述第二表面上，所述穿通孔穿透所述第一基板；

金属密封部分，该密封部分位于所述第一表面上以便包围所述声波元件，该密封部分从平面图看与所述穿通孔的至少一部分交叠，并且将所述声波元件密封在气隙中；以及

第一绝缘膜，该第一绝缘膜位于所述金属密封部分和所述布线部分之间，并且使所述金属密封部分和所述布线部分彼此绝缘，

其中，

所述第一基板包括具有所述第二表面的支承基板和具有所述第一表面的压电基板，所述压电基板结合在所述支承基板上，

所述声波装置还包括环形金属层，所述环形金属层包围所述声波元件并且在所述支承基板上位于去除了所述压电基板的区域中，所述金属密封部分结合到所述环形金属层，

所述穿通孔穿透所述环形金属层，并且

所述压电基板位于所述穿通孔和所述环形金属层之间。

2.根据权利要求1所述的声波装置，其中，

所述环形金属层被定位成从平面图看包围所述穿通孔，并且从平面图看所述压电基板位于所述环形金属层和所述穿通孔之间，

所述布线部分和所述环形金属层在所述第一基板的厚度方向上交叠，并且

所述声波装置还包括第二绝缘膜，所述第二绝缘膜在所述布线部分和所述环形金属层的交叠区域中位于所述布线部分和所述环形金属层之间，所述第二绝缘膜使所述布线部分与所述环形金属层彼此绝缘。

3.根据权利要求1或2所述的声波装置，该声波装置还包括：

穿透电极，该穿透电极穿透所述支承基板，并且将所述环形金属层和所述第二表面电连接，

其中，所述金属密封部分电连接到所述环形金属层。

4.根据权利要求1或2所述的声波装置，该声波装置还包括：

结合层，该结合层位于所述第一绝缘膜和所述环形金属层上，该结合层在没有设置所述第一绝缘膜的区域中与所述环形金属层电连接，所述结合层与所述密封部分结合，其中，

所述金属密封部分是焊料密封部分，并且

所述金属密封部分和所述结合层结合的区域在所述第一基板的厚度方向上与所述穿通孔的至少一部分交叠。

5.根据权利要求1或2所述的声波装置，所述声波装置还包括：

第二基板，该第二基板隔着所述气隙面对所述第一基板，

其中，所述金属密封部分被设置成包围所述第二基板。

6.根据权利要求1或2所述的声波装置，所述声波装置还包括：

第一滤波器，该第一滤波器电连接在公共端子和第一端子之间；以及

第二滤波器，该第二滤波器电连接在所述公共端子和第二端子之间，其中，

所述第一滤波器和所述第二滤波器中的至少一个包括所述声波元件，并且

所述公共端子、所述第一端子和所述第二端子中的每一个都是所述金属部分。

7.根据权利要求6所述的声波装置，其中，

所述第一端子和所述第二端子位于所述第二表面上，

所述穿通孔包括联接到所述第一端子的第一穿通孔和联接到所述第二端子的第二穿通孔，

所述第一穿通孔位于所述第一基板的一对侧部分中的第一侧部分中，所述一对侧部分彼此面对，并且

所述第二穿通孔位于所述一对侧部分中的第二侧部分中。

8.根据权利要求1或2所述的声波装置，所述声波装置还包括：

封盖，该封盖位于所述金属密封部分上，所述封盖和所述密封部分将所述声波元件密封在所述气隙中。