[发明专利]存储器的制作设备及制作方法

权利要求书

1.一种存储器的制作设备，其特征在于，包括：

壳体，包括用于容纳目标物的腔体；

第一暂存箱，用于暂存第一类反应气体；

第一类进气管，所述第一类进气管的第一端与所述第一暂存箱连通，所述第一类进气管的第二端与所述腔体连通，用于向所述腔体内输送所述第一类反应气体；

第一阀门，位于所述第一类反应气体流通的第一气流通路上，用于在所述第一暂存箱内的压强大于所述腔体内的压强时，导通所述第一气流通路；

第三类进气管，与所述腔体连通，用于向所述腔体内输送第三类反应气体；其中，所述第三类反应气体与电离后的所述第一类反应气体发生反应生成第一产物，至少部分所述第一产物与所述目标物表面的物质发生反应生成第二产物，所述第二产物的电阻值小于预设电阻值。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述设备还包括：

第二暂存箱，用于暂存第二类反应气体；

第二类进气管，所述第二类进气管的第一端与所述第二暂存箱连通，所述第二类进气管的第二端与所述腔体连通，用于向所述腔体内输送所述第二类反应气体；

第二阀门，位于所述第二类反应气体流通的第二气流通路上，用于在所述第二暂存箱内的压强大于所述腔体内的压强时，导通所述第二气流通路；

其中，部分所述第一产物与所述第二类反应气体发生反应生成第三产物，所述第三产物与所述第一类反应气体之间的化学反应为惰性。

3.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述设备还包括：

流量控制器，位于所述第三类进气管上，用于在所述第一气流通路导通时，将输送至所述腔体内的所述第三类反应气体的流量从第一流量减小至第二流量。

4.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述设备还包括：

气流驱动装置，用于将所述腔体内的气体排出所述腔体；

出气管，所述出气管的一端与所述腔体上的出气孔连通，所述出气管的另一端与所述气流驱动装置连通，用于输出所述腔体内的气体。

5.根据权利要求4所述的设备，其特征在于，所述设备还包括：

第四类进气管，与所述出气管连通，用于向所述出气管内输送第二类反应气体；其中，所述第四类进气管中输送的所述第二类反应气体，用于与所述出气管内的气体发生反应生成第四产物，所述第四产物与所述出气管的组成成分之间的化学反应为惰性。

6.一种存储器的制作方法，其特征在于，应用于如权利要求1至5任一项所述的设备，包括：

在第一暂存箱内的压强大于容纳有目标物的腔体内压强时，打开第一类进气管上的第一阀门，导通所述第一类反应气体流通的第一通路，将暂存在所述第一暂存箱内的所述第一类反应气体通过所述第一类进气管输送至所述腔体内；

通过第三类进气管向所述腔体内输送第三类反应气体；

利用所述第三类反应气体与电离后的所述第一类反应气体发生反应生成第一产物；

利用至少部分所述第一产物与所述目标物表面的物质发生反应生成第二产物；其中，所述第二产物的电阻小于预设电阻。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

在第二暂存箱内的压强大于所述腔体内的压强时，打开第二类进气管上的第二阀门，导通所述第二类反应气体流通的第二气流通路，将暂存在所述第二暂存箱内的所述第二类反应气体通过所述第二类进气管输送至所述腔体内；

利用所述第二类反应气体与部分所述第一产物发生反应生成第三产物；其中，所述第三产物与所述第一类反应气体之间的化学反应为惰性。

8.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

在所述第一气流通路导通时，利用位于所述第三类进气管上流量控制器，将输送至所述腔体内的所述第三类反应气体的流量从第一流量减小至第二流量。

9.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

利用气流驱动装置，通过与所述腔体上的出气孔连通的出气管，将所述腔体内的气体排出所述腔体。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

通过第四进气管向所述出气管中输送第二类反应气体；其中，所述第四进气管中输送的所述第二类反应气体与所述出气管内的气体发生反应生成第四产物，所述第四产物与所述出气管的组成成分之间的化学反应为惰性。