[发明专利]电化学传感器的工作电极制作方法及其产品

权利要求书

1.一种电化学传感器的工作电极制作方法，其特征在于，包含以下步骤：

步骤S1，提供一基板；

步骤S2，形成一波浪图案，将该波浪图案形成于该基板的一面；以及

步骤S3，提供一导电物质，将该导电物质设于该基板具有该波浪图案的一面。

2.如权利要求1所述的电化学传感器的工作电极制作方法，其特征在于，该基板的一面具有一保护层。

3.如权利要求2所述的电化学传感器的工作电极制作方法，其特征在于，于该步骤S1中，对该基板具有该保护层的一面进行黄光与干式蚀刻，从而使该面形成有多个开孔。

4.如权利要求3所述的电化学传感器的工作电极制作方法，其特征在于，于该步骤S1中，对该基板具有该多个开孔的位置进行等相蚀刻，以使具有该多个开孔位置的该基板形成有多个凹槽，该多个凹槽为半圆形；或者对该基板具有该多个开孔的位置进行非等相蚀刻，以使具有该多个开孔位置的该基板形成有多个凹槽，该多个凹槽为倒三角形，该多个凹槽的边缘与底缘处具有至少一尖角。

5.如权利要求4所述的电化学传感器的工作电极制作方法，其特征在于，于该步骤S1中，将该基板的该保护层于以去除；将该基板浸泡于上述的等相时刻液体中，待浸泡数秒后，以该使该多个凹槽与该基板的表面的尖角，形成导圆角，或者将该基板浸泡于上述的等相时刻液体中，待浸泡数秒后，以使呈三角形的该多个凹槽与该多个尖角，形成导圆角；或者将该基板处以热氧化，而使该多个凹槽具有导圆角，以及该多个尖角形成导圆角；该多个导圆角的凹槽构成该波浪图案。

6.如权利要求5所述的电化学传感器的工作电极制作方法，其特征在于，于该步骤S3中，以一物理气相沉积对该基板具有该波浪图案的一面进行蒸镀或溅镀，从而使该面沉积有一导电层。

7.如权利要求6所述的电化学传感器的工作电极制作方法，其特征在于，于该步骤S3中，一胶体金属溶液具有导电颗粒与胶体溶液，将该胶体金属溶液设于该基板具有该导电层的一面；待该胶体溶液干燥后，该多个导电颗粒设于该导电层的一面。

8.一种电化学传感器的工作电极，其特征在于，包含有：

一基板；

一波浪图案，其设于该基板的一面；以及

一导电物质，其设于该基板具有该波浪图案的一面。

9.如权利要求8所述的电化学传感器的工作电极，其特征在于，该波浪图案为该基板的多个凹槽，各凹槽的边缘与底缘处具有圆角。

10.如权利要求8所述的电化学传感器的工作电极，其特征在于，该导电物质具有一导电层，该导电层位于该基板具有该多个凹槽的一面；或者，该导电物质具有一导电层与多个导电颗粒，该导电层位于该基板具有该多个凹槽的一面，该多个导电颗粒位于该导电层远离该基板的一面。