[发明专利]电化学传感器的工作电极制作方法及其产品在审
申请号: | 201910900637.9 | 申请日: | 2019-09-23 |
公开(公告)号: | CN111474219A | 公开(公告)日: | 2020-07-31 |
发明(设计)人: | 蔡幸川;廖学专;黄希哲 | 申请(专利权)人: | 昇阳国际半导体股份有限公司 |
主分类号: | G01N27/30 | 分类号: | G01N27/30;G01N27/327 |
代理公司: | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人: | 侯奇慧 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电化学传感器 工作 电极 制作方法 及其 产品 | ||
本发明公开了一种电化学传感器的工作电极制作方法以及一种电化学传感器的工作电极,该电化学传感器的工作电极制作方法包含以下步骤:步骤S1,提供一基板;步骤S2,设置一波浪图案,将该波浪图案形成于该基板的一面;以及步骤S3,提供一导电物质,将该导电物质设于该基板具有该波浪图案的一面。
技术领域
一种电化学传感器的工作电极制作方法及其产品,尤指一种提升现有制作电化学三电极感测制作精度方法及其产品。
背景技术
近年各种医疗用检测装置的普及率越来越高,并且可于病床边或诊间进行快速检测方式越来越受到重视。这样的快速检测方式不仅需要具备高灵敏性与高选择性的检测特性,还必须是小型、便宜且易于操作。
而最为常见的例子就是血糖仪,目前市售的血糖仪大都使用三电极抛弃式试片,三电极抛弃式试片由网版印刷技术所制作。但网印的制程精度,无法达到日趋严苛测量准确度的需求。
发明内容
有鉴于此,本发明主要目的在于,提出一种电化学传感器的工作电极制作方法及其产品,其提升现有制作电化学三电极感测制作精度方法及其产品。工作电极的表面具有波浪图案,以增加感测面积。本发明可于工作电极固定接合酵素、抗体或核酸,以应用于不同领域的生物感测。
为达上述目的,本发明所提出的一种电化学传感器的工作电极制作方法,其包含以下步骤:
步骤S1,提供一基板;
步骤S2,设置一波浪图案,将该波浪图案形成于该基板的一面;以及
步骤S3,提供一导电物质,将该导电物质设于该基板具有该波浪图案的一面。
于一实施例,该基板的一面具有一保护层。
于一实施例,于该步骤S1中,对该基板具有该保护层的一面进行黄光与干式蚀刻,而使该面形成有多个开孔。
于一实施例,于该步骤S1中,对该基板具有该多个开孔的位置进行等相蚀刻,以使具有该多个开孔位置的该基板形成有多个凹槽,该多个凹槽为半圆形;或者对该基板具有该多个开孔的位置进行非等相蚀刻,以使具有该多个开孔位置的该基板形成有多个凹槽,该多个凹槽为倒三角形,该多个凹槽的边缘与底缘处具有至少一尖角。
于一实施例,于该步骤S1中,将该基板的该保护层于以去除;将该基板浸泡于上述的等相时刻液体中,待浸泡数秒后,以该使该多个凹槽与该基板的表面的尖角,形成导圆角,或者将该基板浸泡于上述的等相时刻液体中,待浸泡数秒后,以使呈三角形的该多个凹槽与该多个尖角,形成导圆角;或者将该基板处以热氧化,而使该多个凹槽具有导圆角,以及该多个尖角形成导圆角;该多个导圆角的凹槽构成该波浪图案。
于一实施例,于该步骤S3中,以一物理气相沉积对该基板具有该波浪图案的一面进行蒸镀或溅镀,而使该面沉积有一导电层。一胶体金属溶液具有导电颗粒与胶体溶液,将该胶体金属溶液设于该基板具有该导电层的一面;待该胶体溶液干燥后,该多个导电颗粒设于该导电层的一面。
本发明复提出一种电化学传感器的工作电极,其包含有:
一基板;
一波浪图案,其设于该基板的一面;以及
一导电物质,其设于该基板具有该波浪图案的一面。
于一实施例,该波浪图案为该基板的多个凹槽,各凹槽的边缘与底缘处具有圆角。
于一实施例,该导电物质具有一导电层,该导电层位于该基板具有该多个凹槽的一面;或者,该导电物质具有一导电层与多个导电颗粒,该导电层位于该基板具有该多个凹槽的一面,该多个导电颗粒位于该导电层远离该基板的一面。
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