[发明专利]一种改善卷边残铜的封装基板制造方法在审
申请号: | 201910909360.6 | 申请日: | 2019-09-25 |
公开(公告)号: | CN110581062A | 公开(公告)日: | 2019-12-17 |
发明(设计)人: | 叶新智;王健;杨洁;孙彬;沈洪;李晓华 | 申请(专利权)人: | 江苏上达电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;H01L21/027 |
代理公司: | 32220 徐州市三联专利事务所 | 代理人: | 张帅 |
地址: | 221000 江苏省徐州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金属层 绝缘薄膜层 光刻胶涂布 封装基板 光刻胶 残铜 卷边 卷带 显影 电子元器件 光刻胶残留 两侧边缘处 光刻胶层 金属层面 涂布加工 显影设备 线路板 曝光 保护层 链轮孔 薄层 基材 黏附 剥离 加工 制造 | ||
本发明涉及一种改善卷边残铜的封装基板制造方法,属于线路板技术领域。包括步骤:准备由金属层和绝缘薄膜层构成的基材;在绝缘薄膜层上黏附一层PI层;在金属层上进行光刻胶涂布,在金属层和PI层上形成一层光刻胶薄层;在组成部位的两侧边缘处形成搬送链轮孔;剥离PI层,留下由光刻胶层、金属层和绝缘薄膜层组成的卷带;将得到的卷带,进行曝光、显影加工,形成线路后,设置保护层,搭载电子元器件,最终得到封装基板。本发明的有益效果是:在涂布加工时,对金属层面进行光刻胶涂布,光刻胶在金属层上均匀分布,不需要在显影设备上设置SPOT UV装置,曝光结束后直接进行显影,也不会出现光刻胶残留的问题,可以有效的避免卷边残铜的出现。
技术领域
本发明涉及一种改善卷边残铜的封装基板制造方法,属于线路板技术领域。
背景技术
在现有的技术中,为了改善卷边残铜的问题,通常实在曝光完成后,进行显影之前,对边缘光刻胶较厚的区域进行第二次曝光。具体的,在显影设备中,在进入显影槽之前的部位,增加一个SPOT UV装置,此装置有两个紫外光镜头,设置在搬送装置的两侧。产品通过搬送装置搬送生产时,SPOT UV装置主体发生紫外光,通过镜头射出,照射在位于搬送装置两侧的卷边光刻胶较厚的区域,实现二次曝光。二次曝光后,卷边处的光刻胶尽管较厚,也能被显影掉,因此可以避免后续出现卷边残铜的情况,提高生产良率,降低成本。
但是,在现有的技术中,因为要在已成型的显影装置中增加SPOT UV装置,会产生改造费用,并且,SPOT UV装置本身价格高昂,所以,现有的技术虽然可以有效的改善卷边残铜的情况,但会造成成本很大上升。
发明内容
为了克服上述现有技术的不足之处,本发明提供一种改善卷边残铜的封装基板制造方法,根据本专利提供的方法进行封装基板的生产,能有效的改善卷边残铜的问题。
本发明是通过如下技术方案实现的:一种改善卷边残铜的封装基板制造方法,其特征在于,包括步骤:
步骤A:准备由金属层和绝缘薄膜层构成的基材;
步骤B:在绝缘薄膜层上黏附一层PI层,PI层的宽幅大于基材的宽幅;
步骤C:在金属层上进行光刻胶涂布,在金属层和PI层上形成一层光刻胶薄层;
步骤D:在组成部位的两侧边缘处形成搬送链轮孔;
步骤E:剥离绝缘薄膜层上的PI层,PI层上的光刻胶随之脱落,留下由光刻胶层、金属层和绝缘薄膜层组成的卷带;
步骤F:将得到的卷带,进行曝光、显影加工,形成线路后,设置保护层,搭载电子元器件,最终得到封装基板。
所述的金属层为导电性金属。
所述的导电性金属为铜。
所述的PI层为聚酰亚胺薄膜。
所述的绝缘薄膜层为聚酰亚胺类树脂、环氧树脂或液晶聚合物,支撑表面金属层。
所述的步骤C在金属层上进行光刻胶涂布时,金属层整体均匀涂布。
所述的步骤D在组成部位的两侧边缘处使用专用模具,通过冲孔的方式形成搬送链轮孔。
本发明的有益效果是:在涂布加工时,是对整个金属层面进行光刻胶涂布,所以光刻胶在整个金属层上均匀分布,不需要在显影设备上设置SPOT UV装置,曝光结束后直接进行显影,也不会出现光刻胶残留的问题,可以有效的避免卷边残铜的出现。相较于以往的卷边残铜问题解决方法,本发明不需要对显影设备进行改进,也不需要额外增加购买SPOT UV装置,因此可以节省设备改装费用和设备采购费用,有效的节省了制造成本。
附图说明
下面根据附图和实施例对本发明进一步说明。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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