[发明专利]清洗装置、具备该清洗装置的电镀装置以及清洗方法

权利要求书

1.一种清洗装置，对具有第一保持部件、和具备使基板露出的开口的第二保持部件的基板支架进行清洗，其特征在于，具有：

清洗槽，其构成为收容所述基板支架；

致动器，其构成为使所述第二保持部件从所述第一保持部件分离；以及

清洗喷嘴，其构成为对收容于所述清洗槽的所述基板支架排出清洗液，

所述清洗喷嘴构成为通过所述第二保持部件的所述开口。

2.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，

所述清洗喷嘴构成为：在所述致动器使所述第二保持部件从所述第一保持部件分离时，通过所述第二保持部件的所述开口并配置在所述第一保持部件与所述第二保持部件之间。

3.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，

具有保持机构，其构成为保持所述第二保持部件，

所述致动器构成为：使保持有所述第二保持部件的所述保持机构相对于所述第一保持部件接近以及分离。

4.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，

所述清洗喷嘴包括：向所述第一保持部件排出清洗液的第一清洗喷嘴、和向所述第二保持部件排出清洗液的第二清洗喷嘴。

5.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，

具有干燥喷嘴，其构成为对收容于所述清洗槽的所述基板支架吹送气体。

6.根据权利要求5所述的清洗装置，其特征在于，

所述干燥喷嘴包括：向所述第一保持部件吹送气体的第一干燥喷嘴、和向所述第二保持部件吹送气体的第二干燥喷嘴。

7.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，具有：

喷嘴板，其固定有所述清洗喷嘴；和

马达，其构成为使所述喷嘴板旋转。

8.根据权利要求5所述的清洗装置，其特征在于，具有：

喷嘴板，其固定有所述清洗喷嘴；和

马达，其构成为使所述喷嘴板旋转，

所述干燥喷嘴固定于所述喷嘴板。

9.一种电镀装置，其特征在于，具有：

权利要求1～8中的任一项所述的清洗装置；和

电镀槽，其构成为收容电镀液。

10.根据权利要求9所述的电镀装置，其特征在于，具有：

输送装置，其构成为输送所述基板支架；

储物器，其构成为保管所述基板支架；以及

控制装置，其控制所述输送装置，

所述控制装置控制所述输送装置，以便将被所述清洗装置清洗后的所述基板支架输送至所述储物器。

11.一种清洗方法，对具有第一保持部件、和具备使基板露出的开口的第二保持部件的基板支架进行清洗，其特征在于，具有以下工序：

将所述基板支架收容于清洗槽的工序；

使所述第二保持部件从所述第一保持部件分离的工序；

清洗喷嘴通过所述开口的工序；以及

在所述清洗喷嘴配置在所述第一保持部件与所述第二保持部件之间的状态下，从所述清洗喷嘴对所述基板支架排出清洗液的工序。

12.根据权利要求11所述的清洗方法，其特征在于，

所述清洗喷嘴通过所述开口的工序包括以下工序，即、在所述第二保持部件从所述第一保持部件分离时，所述清洗喷嘴通过所述开口并配置在所述第一保持部件与所述第二保持部件之间。

13.根据权利要求11所述的清洗方法，其特征在于，

排出所述清洗液的工序包括向所述基板支架的接点以及密封部件排出所述清洗液的工序。

14.根据权利要求11所述的清洗方法，其特征在于，

具有对所述基板支架吹送气体而使其干燥的工序。