[发明专利]一种低温物性测试系统及装置有效
申请号: | 201910917353.0 | 申请日: | 2019-09-26 |
公开(公告)号: | CN110632423B | 公开(公告)日: | 2021-05-11 |
发明(设计)人: | 伍文涛;高波;王镇 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | G01R31/00 | 分类号: | G01R31/00;G01R1/30;G01R1/04 |
代理公司: | 上海泰能知识产权代理事务所(普通合伙) 31233 | 代理人: | 宋缨 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 低温 物性 测试 系统 装置 | ||
1.一种低温物性测试系统,其特征在于,所述低温物性测试系统包括:
多通道直流测试电路,用于根据第一待测样品的电压和电流对其进行直流电学参数表征;其中所述多通道直流测试电路包括:
样品绑定区,设于低温环境下,用于放置第一待测样品,同时引出电压引出端和电流引出端;
电压源,设于常温环境下且电连接于所述电压引出端,用于为所述第一待测样品提供电压或测量所述第一待测样品的输出电压;
电流源,设于常温环境下且电连接于所述电流引出端,用于为所述第一待测样品提供电流或测量所述第一待测样品的输出电流;
SQUID读出电路,用于读取第二待测样品的磁通或待转换为磁通的电信号,以对所述第二待测样品进行器件性能表征;其中所述SQUID读出电路包括:
样品安装区,设于低温环境下,用于放置第二待测样品,同时引出读出引线端;
SQUID控制器,设于常温环境下且电连接于所述读出引线端,用于读取所述第二待测样品的磁通或待转换为磁通的电信号;
其中,在对所述第一待测样品进行直流信号放大测试时,所述低温物性测试系统还包括:标准SQUID,设于所述样品安装区;此时所述标准SQUID的输入端电连接于所述多通道直流测试电路的输出端,所述标准SQUID的输出端电连接于所述SQUID控制器,以通过所述SQUID控制器控制所述标准SQUID的工作状态,使所述标准SQUID作为所述多通道直流测试电路的次级放大电路,对所述多通道直流测试电路的输出信号进行放大。
2.根据权利要求1所述的低温物性测试系统,其特征在于,所述多通道直流测试电路还包括:低通滤波器,设于低温环境下、电连接于所述样品绑定区和所述电压引出端之间或所述样品绑定区和所述电流引出端之间,用于对所述多通道直流测试电路的输出信号进行低通滤波。
3.根据权利要求1所述的低温物性测试系统,其特征在于,所述多通道直流测试电路还包括:低通滤波器,设于常温环境下、电连接于所述电压引出端和所述电压源之间或所述电流引出端和所述电流源之间,用于对所述多通道直流测试电路的输出信号进行低通滤波。
4.一种低温物性测试装置,其特征在于,所述低温物性测试装置包括:
空心杆管,其一端设有装配接口,其另一端设有引出接口;
物性测试管,设于所述装配接口上,包括内设空腔的测试管主体,设于所述空腔内的基座,设于所述基座一端且具有样品绑定区的样品托,设于所述样品托上且电连接于所述样品绑定区的多通道引出PCB板,其中所述多通道引出PCB板具有电压引出端和电流引出端;设于所述基座另一端的样品筒,设于所述样品筒内的样品安装区,其中所述样品安装区具有读出引线端;
样品托引线端,设于所述引出接口,用于通过空心杆管内的电压连接线将所述电压引出端引出,通过空心杆管内的电流连接线将所述电流引出端引出;
样品筒引线端,设于所述引出接口,用于通过空心杆管内的读出连接线将所述读出引线端引出;
其中,在对第一待测样品进行直流电学参数表征时,所述第一待测样品放置于所述样品绑定区,此时所述电压引出端通过所述电压连接线电连接于电压源,所述电流引出端通过所述电流连接线电连接于电流源;在对第二待测样品进行器件性能表征时,所述第二待测样品放置于所述样品安装区,此时所述读出引线端通过所述读出连接线电连接于SQUID控制器;在对所述第一待测样品进行直流信号放大测试时,所述第一待测样品放置于所述样品绑定区,此时标准SQUID放置于所述样品安装区,所述标准SQUID的输入端电连接于所述多通道直流测试电路的输出端,所述读出引线端通过所述读出连接线电连接于SQUID控制器;其中所述空心杆管和所述物性测试管设于低温环境下,所述样品托引线端、所述样品筒引线端、所述电压源、所述电流源和所述SQUID控制器设于常温环境下。
5.根据权利要求4所述的低温物性测试装置,其特征在于,所述多通道引出PCB板上还设有低通滤波器,其中所述低通滤波器电连接于所述样品绑定区和所述电压引出端之间或所述样品绑定区和所述电流引出端之间。
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