[发明专利]一种低温物性测试系统及装置有效
申请号: | 201910917353.0 | 申请日: | 2019-09-26 |
公开(公告)号: | CN110632423B | 公开(公告)日: | 2021-05-11 |
发明(设计)人: | 伍文涛;高波;王镇 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | G01R31/00 | 分类号: | G01R31/00;G01R1/30;G01R1/04 |
代理公司: | 上海泰能知识产权代理事务所(普通合伙) 31233 | 代理人: | 宋缨 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 低温 物性 测试 系统 装置 | ||
本发明提供一种低温物性测试系统及装置,所述系统包括:多通道直流测试电路,用于根据第一待测样品的电压和电流对其进行直流电学参数表征;SQUID读出电路,用于读取第二待测样品的磁通或待转换为磁通的电信号,以对所述第二待测样品进行器件性能表征;其中,在对所述第一待测样品进行直流信号放大测试时,所述低温物性测试系统还包括:标准SQUID,设于所述样品安装区;此时所述标准SQUID的输入端电连接于所述多通道直流测试电路的输出端以作为所述多通道直流测试电路的次级放大电路,用于对所述多通道直流测试电路的输出信号进行放大。通过本发明解决了现有技术中没有高效低温物性测试系统的问题。
技术领域
本发明涉及低温电子学测量领域,特别是涉及一种低温物性测试系统及装置。
背景技术
材料与器件的低温物性是当前研究的重要方向,不同的材料或器件在低温环境下,会表现出不同的性能,如金属材料在低温环境下表现出较低电阻特性,而半导体材料在低温环境下则表现出较高电阻特性。
对于一般器件,在一定温度范围内,随着温度降低,与温度相关的器件热噪声也随之降低,从而实现更佳的工作性能。因此,如何提供材料及器件的高效低温物性表征测试,是本领域技术人员迫切需要解决的问题。
发明内容
鉴于以上所述现有技术的缺点,本发明的目的在于提供一种低温物性测试系统及装置,用于解决现有技术中没有高效低温物性测试系统的问题。
为实现上述目的及其他相关目的,本发明提供一种低温物性测试系统,所述低温物性测试系统包括:
多通道直流测试电路,用于根据第一待测样品的电压和电流对其进行直流电学参数表征;其中所述多通道直流测试电路包括:
样品绑定区,设于低温环境下,用于放置第一待测样品,同时引出电压引出端和电流引出端;
电压源,设于常温环境下且电连接于所述电压引出端,用于为所述第一待测样品提供电压或测量所述第一待测样品的输出电压;
电流源,设于常温环境下且电连接于所述电流引出端,用于为所述第一待测样品提供电流或测量所述第一待测样品的输出电流;
SQUID读出电路,用于读取第二待测样品的磁通或待转换为磁通的电信号,以对所述第二待测样品进行器件性能表征;其中所述SQUID读出电路包括:
样品安装区,设于低温环境下,用于放置第二待测样品,同时引出读出引线端;
SQUID控制器,设于常温环境下且电连接于所述读出引线端,用于读取所述第二待测样品的磁通或待转换为磁通的电信号;
其中,在对所述第一待测样品进行直流信号放大测试时,所述低温物性测试系统还包括:标准SQUID,设于所述样品安装区;此时所述标准SQUID的输入端电连接于所述多通道直流测试电路的输出端,所述标准SQUID的输出端电连接于所述SQUID控制器,以通过所述SQUID控制器控制所述标准SQUID的工作状态,使所述标准SQUID作为所述多通道直流测试电路的次级放大电路,对所述多通道直流测试电路的输出信号进行放大。
可选地,所述多通道直流测试电路还包括:低通滤波器,设于低温环境下、电连接于所述样品绑定区和所述电压引出端或所述样品绑定区和所述电流引出端之间,用于对所述多通道直流测试电路的输出信号进行低通滤波。
可选地,所述多通道直流测试电路还包括:低通滤波器,设于常温环境下、电连接于所述电压引出端和所述电压源之间或所述电流引出端和所述电流源之间,用于对所述多通道直流测试电路的输出信号进行低通滤波。
本发明还提供了一种低温物性测试装置,所述低温物性测试装置包括:
空心杆管,其一端设有装配接口,其另一端设有引出接口;
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