[发明专利]一种化学镀铜液及其制备方法

权利要求书

1.一种化学镀铜液，其特征在于，所述化学镀铜液按质量浓度计，包括如下组分：

所述第一络合剂选自酒石酸、酒石酸盐、柠檬酸、柠檬酸盐、N-羟乙基乙二胺三乙酸、N-羟乙基乙二胺三乙酸盐、三乙醇胺、氨三乙酸或氨三乙酸盐中的任意一种或至少两种的组合；

所述第二络合剂选自乙二胺四乙酸四钠、丁二酸、丁二酸钠或乙二胺中的任意一种或至少两种的组合。

2.根据权利要求1所述的化学镀铜液，其特征在于，所述第一络合剂为酒石酸钾钠；

优选地，所述第二络合剂为乙二胺四乙酸四钠；

优选地，所述第一络合剂与第二络合剂的质量浓度比为(1-20):1。

3.根据权利要求1或2所述的化学镀铜液，其特征在于，所述化学镀铜液还包括氢氧化钠和/或氢氧化钾；

优选地，所述化学镀铜液的pH为12-13。

4.根据权利要求1-3所述的化学镀铜液，其特征在于，所述化学镀铜液中，二价铜离子的质量浓度为0.1-5g/L；

优选地，所述水溶性二价铜盐选自氯化铜、五水硫酸铜、硝酸铜、酒石酸铜或醋酸铜中的任意一种或至少两种的组合，优选为五水硫酸铜。

5.根据权利要求1-4所述的化学镀铜液，其特征在于，所述还原剂为甲醛、次磷酸钠或水合乙醛酸中的任意一种或至少两种的组合，优选为甲醛。

6.根据权利要求1-5所述的化学镀铜液，其特征在于，所述稳定剂选自联吡啶、氰化钠、氰化钾、四氰基镍(II)酸钾水合物、亚铁氰化钾、硫脲、硫脲衍生物、过硫酸盐或硫代硫酸盐中的任意一种或至少两种的组合，优选为亚铁氰化钾。

7.一种化学镀铜液的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括将如权利要求1-6任一项所述化学镀铜液中的各组分加入水中混合即可。

8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：先将水溶性二价铜盐与水进行第一次混合，再依次与第一络合剂、第二络合剂、稳定剂和还原剂进行第二次混合，得到所述化学镀铜液。

9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述制备方法还包括：在第二次混合后利用氢氧化钠和/或氢氧化钾调节pH至12-13。

10.根据权利要求8或9所述的制备方法，其特征在于，所述制备方法还包括：在第二次混合后利用水定容。