[发明专利]一种化学镀铜液及其制备方法在审
申请号: | 201910917557.4 | 申请日: | 2019-09-26 |
公开(公告)号: | CN110512199A | 公开(公告)日: | 2019-11-29 |
发明(设计)人: | 邵永存 | 申请(专利权)人: | 苏州天承化工有限公司 |
主分类号: | C23C18/40 | 分类号: | C23C18/40 |
代理公司: | 11332 北京品源专利代理有限公司 | 代理人: | 巩克栋<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 215124 江苏省苏州市吴中*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 化学镀铜液 络合剂 施镀 水溶性二价铜盐 化学镀铜 协同增效 镀铜膜 还原剂 浓度计 稳定剂 制备 平整 分解 配合 | ||
1.一种化学镀铜液,其特征在于,所述化学镀铜液按质量浓度计,包括如下组分:
所述第一络合剂选自酒石酸、酒石酸盐、柠檬酸、柠檬酸盐、N-羟乙基乙二胺三乙酸、N-羟乙基乙二胺三乙酸盐、三乙醇胺、氨三乙酸或氨三乙酸盐中的任意一种或至少两种的组合;
所述第二络合剂选自乙二胺四乙酸四钠、丁二酸、丁二酸钠或乙二胺中的任意一种或至少两种的组合。
2.根据权利要求1所述的化学镀铜液,其特征在于,所述第一络合剂为酒石酸钾钠;
优选地,所述第二络合剂为乙二胺四乙酸四钠;
优选地,所述第一络合剂与第二络合剂的质量浓度比为(1-20):1。
3.根据权利要求1或2所述的化学镀铜液,其特征在于,所述化学镀铜液还包括氢氧化钠和/或氢氧化钾;
优选地,所述化学镀铜液的pH为12-13。
4.根据权利要求1-3所述的化学镀铜液,其特征在于,所述化学镀铜液中,二价铜离子的质量浓度为0.1-5g/L;
优选地,所述水溶性二价铜盐选自氯化铜、五水硫酸铜、硝酸铜、酒石酸铜或醋酸铜中的任意一种或至少两种的组合,优选为五水硫酸铜。
5.根据权利要求1-4所述的化学镀铜液,其特征在于,所述还原剂为甲醛、次磷酸钠或水合乙醛酸中的任意一种或至少两种的组合,优选为甲醛。
6.根据权利要求1-5所述的化学镀铜液,其特征在于,所述稳定剂选自联吡啶、氰化钠、氰化钾、四氰基镍(II)酸钾水合物、亚铁氰化钾、硫脲、硫脲衍生物、过硫酸盐或硫代硫酸盐中的任意一种或至少两种的组合,优选为亚铁氰化钾。
7.一种化学镀铜液的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括将如权利要求1-6任一项所述化学镀铜液中的各组分加入水中混合即可。
8.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括:先将水溶性二价铜盐与水进行第一次混合,再依次与第一络合剂、第二络合剂、稳定剂和还原剂进行第二次混合,得到所述化学镀铜液。
9.根据权利要求8所述的制备方法,其特征在于,所述制备方法还包括:在第二次混合后利用氢氧化钠和/或氢氧化钾调节pH至12-13。
10.根据权利要求8或9所述的制备方法,其特征在于,所述制备方法还包括:在第二次混合后利用水定容。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理