[发明专利]一种晶圆自动贴合固定装置

权利要求书

1.一种晶圆自动贴合固定装置，包括绷膜贴片组件(1)、滚压组件(2)、水平转移组件(3)、第一机械手臂(4)、第一工作台(5)、第二机械手臂(6)、料盒(7)、料盒架(8)、卡塞上下料组件(9)；其特征在于：水平转移组件(3)由第二电机(17)、载台(18)构成，第二电机(17)的转轴与载台(18)连接，载台(18)上连接有4个第一工作台(5)，可控制工作台(5)水平方向旋转，绷膜贴片组件(1)与机台外壳(28)固定，且位于第一工作台(5)的上方，卡塞上下料组件(9)与机台外壳(28)底板相连接，第二机械手臂(6)与机台外壳(28)连接，可抓取料盒架(8)内的料盒(7)，OCR镜头(25)固定于机台外壳(28)上，位于第一工作台(5)上方，第一电机(10)与第二机械手臂(6)相连，固定于机台外壳(28)底板上，机台外壳(28)上安装有滚压组件(2)，滚压组件(2)由滚膜轴(19)、第一支架(29)构成，滚膜轴(19)与第一支架(29)活动连接，并固定于第一支架(29)上，第一支架(29)固定于机台外壳(28)上；

所述绷膜贴片组件(1)包括环形热熔断器(14)、第一气缸(13)、固定板(31)、膜收料杆(11)、膜上料杆(12)、第四电机(27)和第二支架(30)，第一气缸(13)与环形热熔断器(14)连接，第一气缸(13)固定于固定板(31)上，固定板(31)与机台外壳(28)固定连接，所述环形热熔断器(14)用于将膜熔断固定在铁环上，固定板(31)上表面两侧安装有第二支架(30)，第二支架(30)安装有第四电机(27)，第四电机(27)分别与膜收料杆(11)、膜上料杆(12)同轴连接，膜收料杆(11)、膜上料杆(12)与第二支架(30)活动连接，固定于第二支架(30)上。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆自动贴合固定装置，其特征在于：所述第一工作台(5)中间有圆柱状的顶升机构(15)，顶升机构(15)中设有真空孔，可吸附晶圆，顶升机构(15)可通过旋转调整晶圆位置。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆自动贴合固定装置，卡塞上下料组件(9)由第三机械手臂(20)、第三气缸(21)、第二工作台(22)、第三电机(23)、第三工作台(24)构成；其特征在于：第三机械手臂(20)与第三气缸(21)连接，控制第三机械手臂(20)伸缩，第三机械手臂(20)可水平延伸，抓取卡塞，第三电机(23)与机台外壳(28)底板相连接，控制第二工作台(22)上下方向移动，第一机械手臂(4)与第三工作台(24)相连，手臂可水平延伸，抓取铁环。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆自动贴合固定装置，其特征在于：所述料盒(7)内存在多个晶圆大小的凹槽(32)，第二机械手臂(6)可伸缩夹取料盒(7)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆自动贴合固定装置，其特征在于：工作台(5)上方设有OCR镜头(25)，可识别并传输晶圆刻号信息，OCR镜头(25)固定于机台外壳(28)上。