[发明专利]一种晶圆自动贴合固定装置

说明书

本发明公开了一种晶圆自动贴合固定装置，包括绷膜贴片组件、滚压组件、水平转移组件、第一机械手臂、第一工作台、第二机械手臂、料盒、料盒架、卡塞上下料组件；其中：水平转移组件由第二电机、载台构成，第二电机的转轴与载台连接，载台上连接有4个第一工作台。本发明的优点在于：利用机械手臂取、放料，OCR镜头检测片源刻号和相对位置，利用机械手臂调整位置放置在贴片载台上，从而使片源能够准确的完成贴片工序，再利用机械手臂取料放回卡塞中，从而完成贴片工序的自动化，提高了生产效率，降低了生产成本。

技术领域

本发明涉及晶圆自动贴合固定技术领域，尤其涉及一种晶圆自动贴合固定装置。

背景技术

在LED行业，晶圆的贴片固定，是靠人工手动取片，放置在贴片载台上，取铁环放置在外圈，通过载台移动完成贴片工序，人工取片下料，核对。目前市场上作业方式均为此种作业模式。人工贴片放置缓慢，效率低，且易发生位置放错现象，从而导致贴片不良。

发明内容

本发明的目的在于提供了一种晶圆自动贴合固定装置，实现贴片工序的自动化，提高了生产效率，降低了生产成本。

为实现所述目的，本发明提供如下技术方案：一种晶圆自动贴合固定装置，包括绷膜贴片组件、滚压组件、水平转移组件、第一机械手臂、第一工作台、第二机械手臂、料盒、料盒架、卡塞上下料组件；其中：水平转移组件由第二电机、载台构成，第二电机的转轴与载台连接，载台上连接有个第一工作台，可控制工作台水平方向旋转，绷膜贴片组件与机台外壳固定，且位于第一工作台的上方，卡塞上下料组件与机台外壳底板相连接，第二机械手臂与机台外壳连接，可抓取料盒架内的料盒，OCR镜头固定于机台外壳上，位于第一工作台上方，第一电机与第二机械手臂相连，固定于机台外壳底板上，机台外壳上安装有滚压组件，滚压组件由滚膜轴、第一支架构成，滚膜轴与第一支架活动连接，并固定于第一支架上，第一支架固定于机台外壳上。

所述绷膜贴片组件由膜收料杆、膜上料杆、第一气缸、环形热熔断器、第四电机、第二支架、固定板构成，其中：第一气缸与环形热熔断器连接，第一气缸固定与固定板上，固定板与机台外壳固定连接，固定板上表面两侧安装有第二支架，第二支架安装有第四电机，第四电机分别与膜收料杆、膜上料杆同轴连接，膜收料杆、膜上料杆与第二支架活动连接，固定于第二支架上。

其中：所述第一工作台中间有圆柱状的顶升机构，顶升机构中设有真空孔，可吸附晶圆，顶升机构可通过旋转调整晶圆位置。

其中：第三机械手臂与第三气缸连接，控制第三机械手臂伸缩，第三机械手臂可水平延伸，抓取卡塞，第三电机与机台外壳底板相连接，控制第二工作台上下方向移动，第一机械手臂与第三工作台相连，手臂可水平延伸，抓取铁环。

其中：所述料盒内存在多个晶圆大小的凹槽，第二机械手臂可伸缩夹取料盒。

其中：工作台上方设有OCR镜头，可识别并传输晶圆刻号信息，OCR镜头固定于机台外壳上。

与现有技术相比，本发明提供了一种晶圆自动贴合固定装置，具备以下有益效果：本发明装置利用机械手臂取、放料，OCR镜头检测片源刻号和相对位置，利用机械手臂调整位置放置在贴片载台上，从而使片源能够准确的完成贴片工序，再利用机械手臂取料放回卡塞中，从而完成贴片工序的自动化，提高了生产效率，降低了生产成本。

附图说明

图1 为本发明的整体结构示意图。

图2 为本发明中绷膜贴片组件的结构示意图。

图3 为本发明中第一工作台的结构示意图。

图4 为本发明中料盒的结构示意图。

图5 为本发明中水平转移组件的结构示意图。

图6 为本发明中滚压组件的结构示意图。

图7 为本发明中卡塞上下料组件的结构示意图。