[发明专利]真空吸附装置在审
申请号: | 201910923939.8 | 申请日: | 2019-09-27 |
公开(公告)号: | CN110666680A | 公开(公告)日: | 2020-01-10 |
发明(设计)人: | 王建新 | 申请(专利权)人: | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
主分类号: | B24B37/27 | 分类号: | B24B37/27;B24B41/06;B01D45/02 |
代理公司: | 11243 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人: | 许静;刘伟 |
地址: | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 连通 排液管道 压缩空气 真空吸附装置 真空吸附盘 容纳腔体 液位监测 储液箱 容纳腔 吸气口 液位 体内 气液分离结构 第二管道 第一管道 控制结构 快速排空 排液结构 实时监测 真空产生 中心设置 排液口 侧壁 预设 出口 | ||
1.一种真空吸附装置,其特征在于,包括:
真空吸附盘,所述真空吸附盘的中心设置有第一吸气口;
气液分离结构,包括具有容纳腔体的本体,所述本体的上半部分的侧壁上设有与所述容纳腔体连通的入口和出口,所述入口通过第一管道与所述第一吸气口连通;
真空产生结构,通过第二管道与所述出口连通;
所述真空吸附装置还包括:
液位监测结构,用于实时监测所述容纳腔体内的液位,并在所述容纳腔体内的液位超过预设值时发出信号;
排液结构,包括储液箱、排液管道以及第一压缩空气提供部,所述储液箱通过所述排液管道与所述本体的底部的排液口连通,所述第一压缩空气提供部通过第三管道与所述排液管道连通;
控制结构,用于根据所述液位监测结构发出的信号、控制所述第一压缩空气提供部提供压缩空气以快速排空所述排液管道内的液体。
2.根据权利要求1所述的真空吸附装置,其特征在于,所述第三管道将所述排液管道划分为第一部分和第二部分,所述第一部分的一端与所述排液口连通;
所述排液结构还包括开关组件,所述开关组件包括设置于所述第一部分上的第一阀门,设置于所述第二部分上的第二阀门,以及设置于所述第三管道上的第三阀门;
所述控制结构用于控制所述第一阀门、所述第二阀门和所述第三阀门在第一工作状态和第二工作状态之间转换,其中,
在所述第一工作状态下,所述控制结构控制所述第一阀门打开、所述第二阀门和所述第三阀门关闭、使得所述容纳腔体内的液体进入所述排液管道;在第二工作状态下,所述控制结构控制所述第一阀门关闭、所述第二阀门和所述第三阀门打开、使得真空吸附状态下、快速排出所述排液管道内的液体。
3.根据权利要求1或2所述的真空吸附装置,其特征在于,所述第二管道上设置有第四阀门。
4.根据权利要求1所述的真空吸附装置,其特征在于,所述液位监测结构包括液位传感器。
5.根据权利要求1所述的真空吸附装置,其特征在于,所述真空产生结构包括水环真空泵。
6.根据权利要求1所述的真空吸附装置,其特征在于,所述真空产生结构包括至少一个文丘里管,每个所述文丘里管包括位于相对的两端的第一进气口和第一出气口,以及位于侧面的第二进气口,所述第二进气口与所述气液分离结构的所述出口连通。
7.根据权利要求6所述的真空吸附装置,其特征在于,从所述第一进气口到所述第一出气口的方向,所述文丘里管依次包括收缩管、喉管和扩散管,所述第二进气口位于所述喉管。
8.根据权利要求7所述的真空吸附装置,其特征在于,所述真空产生结构还包括第二压缩空气提供部,通过管道与所述第一进气口连通、以向所述文丘里管提供压缩空气。
9.根据权利要求8所述的真空吸附装置,其特征在于,所述第二压缩空气提供部包括通过管道相互连通的空气干燥单元、空气清洁单元和空气压缩单元。
10.根据权利要求6所述的真空吸附装置,其特征在于,所述真空产生结构包括至少两个所述文丘里管时,所述每个所述文丘里管的所述第二进气口连接一个分支管道,所述气液分离结构的所述出口连接一个主管道,每个所述分支管道与所述主管道连通。
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