[发明专利]操作极紫外光产生装置的方法及极紫外辐射产生装置

权利要求书

1.一种操作一极紫外光产生装置的方法，其特征在于，该极紫外光产生装置包括一容器，该容器具有一进气口、待连接至一扫描器的一界面口、设置在该界面口处的一闸阀、及一排气口，该方法包括：

产生极紫外光，同时从该进气口供应一气体并从该排气口排出该气体；

停止该极紫外光产生；

在停止该极紫外光产生之后，增大从该排气口排出的该排气的一流速；

在增大该流速之后，关闭该闸阀；

在停止极紫外光产生之后，监测一压力紊流；以及

根据被监测的该压力紊流，增大从该排气口排出的该排气的该流速，以增加从该极紫外光产生装置的一收集器镜朝向该闸阀的气流的一流速，以抑制从该闸阀朝向该极紫外光产生装置的该收集器镜的气流。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，进一步包括：

基于在位于该容器内的一压力感测器处量测的一内压力值，来控制该排气的该流速。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，进一步包括：

基于由位于该容器内的一压力感测器量测的一内压力及位于该容器外部的一压力感测器量测的一外压力，来控制该排气的该流速。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，进一步包括：

基于由邻近于该闸阀的一压力感测器量测的一局部压力，来控制该排气的该流速。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，进一步包括：

在停止该极紫外光产生之后，在增大从该排气口排出的该排气的该流速之前等待小于10分钟。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，进一步包括：

在增大该排气的该流速之后，在关闭该闸阀之前等待小于5分钟。

7.一种操作一极紫外光产生装置的方法，其特征在于，该极紫外光产生装置包括一容器，该容器具有一进气口、待连接至一扫描器的一界面口、设置在该界面口处的一闸阀、及一排气口，该方法包括：

产生极紫外光，同时从该进气口供应一气体并从该排气口排出该气体；

停止该极紫外光产生；

在停止该极紫外光产生之后，监测邻近于该闸阀的一压力紊流以抑制从该闸阀朝向该极紫外光产生装置的一收集器镜的气流；以及

在判定该压力紊流大于一阈值之后，增大从该排气口排出的该排气的一流速以增加该极紫外光产生装置的一收集器镜朝向该闸阀的气流的一流速。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，进一步包括：

在增大该流速之后关闭该闸阀。

9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，进一步包括：

在增大该流速之前且在停止该极紫外光产生之后，关闭该闸阀。

10.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，进一步包括：

在停止该极紫外光产生之后，等待小于10分钟来监测邻近于该闸阀的该压力紊流。

11.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，进一步包括：

在增大该排气的一流速之后，在关闭该闸阀之前等待小于5分钟。

12.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，进一步包括：

在关闭该闸阀之后，执行一冲洗操作以清洗该容器。