[发明专利]一种拉晶炉有效
申请号: | 201910933783.1 | 申请日: | 2019-09-29 |
公开(公告)号: | CN110552054B | 公开(公告)日: | 2021-11-16 |
发明(设计)人: | 全弘湧 | 申请(专利权)人: | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;胡影 |
地址: | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 拉晶炉 | ||
1.一种拉晶炉,其特征在于,包括:
炉体,所述炉体内限定有腔室,所述炉体上设有与所述腔室连通的拉晶口;
坩埚,所述坩埚设在所述腔室中以盛放硅材料;
隔热件,所述隔热件沿所述炉体内壁设置;
闸阀,所述闸阀设在所述炉体上以打开或封闭所述拉晶口;
保温结构,所述保温结构设在所述闸阀上以阻挡热量从所述拉晶口散失;
所述闸阀和所述保温结构平行设置,所述闸阀和所述保温结构之间的间距可调节,所述闸阀封闭所述拉晶口时所述保温结构位于所述闸阀的朝向所述坩埚的一侧。
2.根据权利要求1所述的拉晶炉,其特征在于,所述炉体上设有炉管结构,所述炉管结构内限定有与所述拉晶口连通的管腔,所述闸阀可活动地设在所述炉管结构上以导通或封闭所述管腔。
3.根据权利要求2所述的拉晶炉,其特征在于,所述管腔为圆柱状,所述管腔的轴线与所述拉晶口的轴线共线。
4.根据权利要求2所述的拉晶炉,其特征在于,所述炉管结构上限定有与所述管腔连通的容纳腔,所述闸阀在第一位置和第二位置之间可活动,当所述闸阀位于所述第一位置时,所述闸阀封闭所述管腔,当所述闸阀位于所述第二位置时,所述闸阀位于所述容纳腔中且导通所述管腔。
5.根据权利要求4所述的拉晶炉,其特征在于,所述管腔为圆柱状,所述闸阀可在所述第一位置和所述第二位置之间绕第一轴线枢转活动,所述第一轴线与所述管腔的轴线平行。
6.根据权利要求4所述的拉晶炉,其特征在于,所述管腔为圆柱状,所述闸阀可在所述第一位置和所述第二位置之间绕第二轴线翻转,所述第二轴线与所述管腔的轴线垂直。
7.根据权利要求1所述的拉晶炉,其特征在于,所述炉体的内壁上设有挡板,所述挡板位于所述坩埚的上方,所述挡板上与所述拉晶口对应的位置设有通孔。
8.根据权利要求1所述的拉晶炉,其特征在于,还包括:
加热结构,所述加热结构设在所述腔室中且位于所述坩埚与所述隔热件之间。
9.根据权利要求1所述的拉晶炉,其特征在于,还包括:
支架,所述支架设在所述腔室中,所述坩埚设在所述支架上。
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