[发明专利]一种直拉硅单晶炉平底导流筒在审
申请号: | 201910941999.2 | 申请日: | 2019-09-30 |
公开(公告)号: | CN110484967A | 公开(公告)日: | 2019-11-22 |
发明(设计)人: | 武志军;高润飞;张文霞;郭谦;霍志强;韩凯;王胜利;张石晶;郭志荣;钟旭 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环光伏材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 12213 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人: | 栾志超<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙;15 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 导流筒 侧壁部 过渡部 大尺寸单晶 液面 直拉硅单晶炉 同轴线设置 环状结构 气体流速 依次连接 硅溶液 减小 | ||
1.一种直拉硅单晶炉平底导流筒,其特征在于:包括导流筒侧壁部、导流筒过渡部和导流筒平底部,所述导流筒侧壁部、所述导流筒过渡部与所述导流筒平底部依次连接,其中,
所述导流筒侧壁部、所述导流筒过渡部与所述导流筒平底部均为环状结构,所述导流筒平底部的直径小于所述导流筒侧壁部的直径,且所述导流筒平底部与所述导流筒侧壁部同轴线设置,以便减小硅溶液液面与导流筒之间的间隙。
2.根据权利要求1所述的直拉硅单晶炉平底导流筒,其特征在于:所述导流筒侧壁部与所述导流筒平底部垂直设置。
3.根据权利要求1或2所述的直拉硅单晶炉平底导流筒,其特征在于:所述导流筒平底部为平面结构,且所述导流筒平底部设有通孔。
4.根据权利要求3所述的直拉硅单晶炉平底导流筒,其特征在于:所述通孔与所述导流筒侧壁部同轴线设置。
5.根据权利要求4所述的直拉硅单晶炉平底导流筒,其特征在于:所述导流筒过渡部包括圆弧过渡部和直壁过渡部,其中,
所述圆弧过渡部一端与所述导流筒侧壁部连接,另一端与所述直壁过渡部的一端连接,所述直壁过渡部的另一端与所述导流筒平底部连接,便于导流筒侧壁部与所述导流筒平底部连接。
6.根据权利要求5所述的直拉硅单晶炉平底导流筒,其特征在于:所述导流筒侧壁部与所述圆弧过渡部的连接处和所述导流筒平底部同平面设置。
7.根据权利要求5所述的直拉硅单晶炉平底导流筒,其特征在于:所述导流筒侧壁部与所述圆弧过渡部的连接处和所述导流筒平底部异面设置。
8.根据权利要求1或2所述的直拉硅单晶炉平底导流筒,其特征在于:所述平底导流筒还包括连接部,所述连接部与所述导流筒侧壁部连接,便于所述平底导流筒与单晶炉盖连接。
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