[发明专利]清洁装置及清洁方法

权利要求书

1.一种清洁装置，其特征在于，包括：

具有收容空间的壳体；

收容于所述收容空间的气体收容部件，所述气体收容部件包括用于放气的出气口；

设置在所述壳体外侧的吹扫部件，所述出气口与所述吹扫部件连通，所述吹扫部件处设置有控制所述吹扫部件开合的阀门。

2.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述吹扫部件内形成有贯穿所述吹扫部件的通气孔，所述通气孔一端与所述出气口连通。

3.根据权利要求2所述的清洁装置，其特征在于，所述吹扫部件为万向喷嘴，所述万向喷嘴包括卡接组件和可调向喷嘴组件，所述卡接组件的一端与所述壳体固定连接且连通所述出气口，所述可调向喷嘴组件可转动的设置在所述卡接组件的另一端上。

4.根据权利要求2所述的清洁装置，其特征在于，所述吹扫部件为多孔喷嘴，所述多孔喷嘴内形成多个所述通气孔，多个所述通气孔朝向多个方位。

5.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述吹扫部件可移动的设置在所述壳体上。

6.根据权利要求5所述的清洁装置，其特征在于，还包括设置在所述壳体底部的导轨，所述吹扫部件可移动的设置在所述导轨上，所述气体收容部件固定在所述壳体顶部，所述气体收容部件放气时用于带动所述吹扫部件沿所述导轨移动。

7.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述气体收容部件为弹性气囊，所述弹性气囊还包括充气口，所述充气口固定在所述壳体上。

8.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，还包括设置在所述壳体上的开关组件，所述开关组件用于与待清洁物接触后、控制所述阀门打开。

9.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，还包括设置在所述壳体靠近待清洁物一侧的表面的静电吸附膜。

10.根据权利要求9所述的清洁装置，其特征在于，还包括设置在所述静电吸附膜表面的防护网。

11.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁装置呈圆盘状，且所述清洁装置的盘面直径与晶圆相同，所述清洁装置的厚度大于所述晶圆的厚度。

12.一种基于权利要求1-11中任一项所述的清洁装置的清洁方法，其特征在于，包括：

向所述气体收容部件充入清洁气体；

将所述清洁装置放置于待清洁物上，并打开所述阀门；

通过所述吹扫部件向所述待清洁物放气。

13.根据权利要求12所述的清洁方法，其特征在于，所述将所述清洁装置放置于待清洁物上，并打开所述阀门，包括：

将所述清洁装置传输至反应腔室内部；

将所述清洁装置放置在待清洁物上，所述待清洁物表面设置有开关结构；

利用所述开关结构与所述清洁装置上的开关组件接触、以触发所述阀门打开。

14.根据权利要求12所述的清洁方法，其特征在于，通过所述吹扫部件向所述待清洁物放气，包括：

当所述吹扫部件为万向喷嘴时，在所述气体收容部件放气的过程中转动所述吹扫部件；

当所述壳体底部设置有导轨时，在所述气体收容部件放气的过程中所述吹扫部件沿所述导轨移动。