[发明专利]一种利用化学气相沉积法一步制成石墨烯粉末的方法

权利要求书

1.一种利用化学气相沉积法一步制成石墨烯粉末的方法，其特征在于包括以下步骤：

步骤1： 将载具、盖板、铜箔分别用丙酮、酒精、去离子水清洗，干燥后备用；

步骤2：将铜箔放入载具中，载具上方放置盖板；

步骤3：将步骤2中放有铜箔和盖板的载具置于化学气相沉积炉中石英管中间区域，关闭石英管两端阀门后开启冷却循环水；

步骤4：开启真空泵，通入流量为20sccm的氢气净化干燥化学气相沉积炉；

步骤5：开启加热系统，使化学气相沉积炉的腔体在氢气状态下升温至1000~1200℃；

步骤6：通入碳源至石英管内，并调节碳源气体流量，使石英管内压强为1KPa～10KPa；

步骤7：维持步骤6到1～3小时后，停止通入碳源，保持氢气状态下使化学气相沉积炉的腔体温度冷却至100℃以下，关闭氢气，同时关闭化学气相沉积炉电源、真空泵电源和循环水系统；

步骤8：化学气相沉积炉的腔体冷却至室温后取出载具，载具表面即得石墨烯粉末。

2.根据权利要求1所述的一种利用化学气相沉积法一步制成石墨烯粉末的方法，其特征在于：所述步骤1中，载具尺寸为长150-200mm，内径20-30mm，厚度20-30mm；盖板尺寸为长130-180mm，宽30-40mm，高3-5mm；铜箔厚度为2-20um。

3.根据权利要求1所述的一种利用化学气相沉积法一步制成石墨烯粉末的方法，其特征在于：所述步骤5中氢气气流量为100～150sccm。

4.根据权利要求1所述的一种利用化学气相沉积法一步制成石墨烯粉末的方法，其特征在于：所述步骤6中碳源为乙炔、乙烯、甲烷、丙烯、丁烷之中的一种。

5.根据权利要求1所述的一种利用化学气相沉积法一步制成石墨烯粉末的方法，其特征在于：所述步骤6中氢气气流量为100～150sccm，碳源流量为10～50sccm。

6.根据权利要求1所述的一种利用化学气相沉积法一步制成石墨烯粉末的方法，其特征在于：所述步骤7中氢气气流量为10～100sccm。