[发明专利]容纳系统

说明书

容纳系统具备：调整机构，其调整保持部对容器的保持位置；控制部，其控制调整机构的驱动；传送机，其使容纳物移动到被保持部保持的状态的容器的容纳空间，将容纳物传送到容器；以及位置检测装置。位置检测装置设置成检测在容纳空间中被保持于传送机的状态的容纳物的、相对于容器的相对位置。控制部在传送机对容纳物的传送动作中，基于位置检测装置的检测信息，在容纳物被支撑于容器之前的状态下，执行将容器的保持位置调整成相对于容纳物而成为适当位置的调整控制。

技术领域

本发明涉及将容纳物容纳于容器的容纳系统。

背景技术

在制造各种工业制品的制造设备例如半导体制品的制造设备中，为了将处理对象的物品(例如，半导体晶圆或玻璃基板等)或处理所用的物品(例如，分划板或掩模等)作为容纳物而容纳，使用容纳容纳物的容器。在日本特开平8-217207号公报(专利文献1)中，公开了这样的容器的一个示例。以下，在背景技术的说明中，括弧内所示的符号是专利文献1的符号。在专利文献1中，记载了如下的技术：在将工件(W)作为容纳物并将支撑框架(19)作为容器的构成中，进行临时容纳于支撑框架(19)的工件(W)的定心处理。如专利文献1的段落0005所记载的，这样的定心处理是为了防止不能够将工件(W)交接到下一个工序的不良状况、或在将工件(W)从支撑框架(19)取出时工件(W)与支撑框架(19)接触的不良状况而进行的。

如上所述，在专利文献1所记载的技术中，对临时容纳于支撑框架(19)的工件(W)进行定心处理。然后，在专利文献1所记载的技术中，为了可顺利地进行定心处理，以如下的方式构成：在通过在该工件(W)的下侧插入的手柄(36)将被支撑框架(19)的支撑片(23、25)支撑的工件(W)提升之后，使支撑框架(19)移动，使得工件(W)的中心线(C1)与左右的支撑片(23、25)的中心线(C2)一致，随后，使工件(W)从手柄(36)降落到支撑片(23、25)。

发明内容

如上所述，在专利文献1所记载的技术中，为了对临时容纳于容器的容纳物进行定心处理，除了用于预先将容纳物临时容纳于容器的工序以外，在定心处理中，还需要进行解除容器对容纳物的支撑的工序、和使该容纳物再次支撑于容器的工序。因此，在专利文献1所记载的技术中，为了实现容纳物被配置于容器内的适当容纳位置的状态所需要的工序数较多，因而设备的处理效率有可能下降。

于是，期望实现能够谋求为了实现容纳物被配置于容器内的适当容纳位置的状态所需要的工序数的减少的容纳系统。

本公开所涉及的容纳系统是将容纳物容纳于容器的容纳系统，具备保持前述容器的保持部、调整前述保持部对前述容器的保持位置的调整机构、控制前述调整机构的驱动的控制部、使前述容纳物移动到被前述保持部保持的状态的前述容器的容纳空间而将前述容纳物传送到前述容器的传送机、以及检测前述容纳物的位置的位置检测装置，前述位置检测装置设置成检测在前述容纳空间中被保持于前述传送机的状态的前述容纳物的、相对于前述容器的相对位置，前述控制部在前述传送机对前述容纳物的传送动作中，基于前述位置检测装置的检测信息，在前述容纳物被支撑于前述容器之前的状态下，执行将前述容器的前述保持位置调整成相对于前述容纳物而成为适当位置的调整控制。

依据该构成，由于在由传送机向容器传送容纳物的动作中执行调整控制，因而当将容纳物传送到容器时，能够将保持部对容器的保持位置调整成相对于容纳物而成为适当位置，将容纳物配置在容器内的适当容纳位置。此外，由于该调整控制在容纳物被支撑于容器之前的状态下执行，因而能够在容纳物与容器未接触的状态下顺利地调整容器的保持位置。

这样，依据上述的构成，通过在容纳物向容器的传送动作中执行调整控制，从而当将容纳物传送到容器时，能够将容纳物配置在容器内的适当容纳位置。因此，除了容纳物向容器的传送动作以外，不需要进行使容纳物移动的动作，就能够实现容纳物被配置在容器内的适当容纳位置的状态。因而，能够谋求为了实现这样的状态所需要的工序数的减少。