[发明专利]一种研磨头的保护罩有效
申请号: | 201910964574.3 | 申请日: | 2019-10-11 |
公开(公告)号: | CN110732946B | 公开(公告)日: | 2021-08-27 |
发明(设计)人: | 王力;曹佩珊;张勇;温川江 | 申请(专利权)人: | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
主分类号: | B24B21/18 | 分类号: | B24B21/18;B24B55/04 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 俞涤炯 |
地址: | 430205 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 研磨 护罩 | ||
1.一种研磨头的保护罩,用于防止所述研磨头上的杂质掉落,所述研磨头包括一圆盘形的主体,所述主体上设有一连接件,其特征在于,所述保护罩自上而下套设于所述主体上;所述保护罩包括:
一第一保护罩,覆盖于所述主体的顶面并至少部分覆盖于所述主体的周向,所述第一保护罩覆盖于所述主体的顶面部分形成一承漏面,用于承接所述杂质;
一第二保护罩,为形成于所述承漏面的周向的一环形凸起,所述环形凸起具有一第一预设高度,用于防止所述承漏面上的杂质洒出。
2.根据权利要求1所述的保护罩,其特征在于,所述环形凸起的一第二预设高度处布设有过滤孔,以使所述环形凸起的内侧和外侧相通,且所述第二预设高度小于所述第一预设高度。
3.根据权利要求2所述的保护罩,其特征在于,所述环形凸起的外侧设置有一二次过滤装置,用于对杂质进行二次过滤。
4.根据权利要求3所述的保护罩,其特征在于,所述二次过滤装置包括:
一环形滤网,套设于所述环形凸起的外侧,并与所述过滤孔的位置对应,用于过滤所述杂质。
5.根据权利要求4所述的保护罩,其特征在于,所述环形凸起的外侧环设有一凹槽,所述过滤孔位于所述凹槽的槽底,所述环形滤网嵌设于所述凹槽内。
6.根据权利要求5所述的保护罩,其特征在于,所述凹槽的开口处具有一对相对设置的凸缘,以使所述环形滤网卡嵌于所述凹槽内。
7.根据权利要求1所述的保护罩,其特征在于,所述第二保护罩顶部向朝向所述连接件的方向翻折,并形成一预设弧度的弧形凹槽。
8.根据权利要求1所述的保护罩,其特征在于,所述第一预设高度不低于所述连接件的高度。
9.根据权利要求1所述的保护罩,其特征在于,所述第一保护罩和所述第二保护罩采用弹性材料。
10.根据权利要求9所述的保护罩,其特征在于,所述弹性材料为橡胶。
11.据权利要求1所述的保护罩,其特征在于,所述第一保护罩和所述第二保护罩一体成型。
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