[发明专利]用于促进布置在保持膜片上的部件脱离的顶脱器装置和方法在审

专利信息
申请号: 201910965139.2 申请日: 2019-10-11
公开(公告)号: CN111063653A 公开(公告)日: 2020-04-24
发明(设计)人: 阿诺·斯坦恩;斯蒂芬妮·周特尔 申请(专利权)人: 先进装配系统有限责任两合公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/683
代理公司: 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 代理人: 艾晶
地址: 德国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 用于 促进 布置 保持 膜片 部件 脱离 顶脱器 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种用于促进布置在保持膜片(30)上的部件(40)脱离的顶脱器装置(1),包括具有膜片接触面(20)的顶脱器头(10),所述膜片接触面(20)用于抵贴接触所述保持膜片(30)背离部件的表面(31),其中,所述顶脱器头(10)在所述膜片接触面(20)中进一步具有:至少一个顶脱口(21),其中可平移地支承有至少一个顶脱针(13),用于使所述部件(40)从所述保持膜片(30)脱离;以及真空段(11)的至少一个真空口(22),用于在所述保持膜片(30)与所述膜片接触面(20)之间产生负压,其特征在于,

所述顶脱器头(10)在所述膜片接触面(20)中具有压缩空气段(12)的至少一个压缩空气口(23),用于将空气(50)引入所述保持膜片(30)与所述膜片接触面(20)之间。

2.根据权利要求1所述的顶脱器装置(1),其特征在于,

所述至少一个压缩空气口(23)在所述膜片接触面(20)中布置在所述顶脱口(21)与所述至少一个真空口(22)之间。

3.根据权利要求1或2所述的顶脱器装置(1),其特征在于,

所述至少一个真空口(22)在所述膜片接触面(20)中布置在所述顶脱口(21)与所述至少一个压缩空气口(23)之间。

4.根据前述权利要求中任一项所述的顶脱器装置(1),其特征在于,

所述至少一个压缩空气口(23)和/或所述至少一个真空口(22)在所述膜片接触面(20)中呈环形围绕所述顶脱口(21)布置。

5.根据前述权利要求中任一项所述的顶脱器装置(1),其特征在于,

所述膜片接触面(20)具有连接槽(24),用于使所述至少一个压缩空气口(23)和/或所述至少一个真空口(22)和/或所述顶脱口(21)以流体连通方式连接。

6.一种用于通过顶脱器装置(1)促进布置在保持膜片(30)上的部件(40)脱离的方法,所述顶脱器装置(1)包括具有膜片接触面(20)的顶脱器头(10),其中,所述膜片接触面(20)抵贴接触所述保持膜片(30)背离部件的表面(31),其中,所述顶脱器头(10)在所述膜片接触面(20)中进一步具有:顶脱口(21),其中可平移地支承有至少一个顶脱针(13),用于使所述部件(40)从所述保持膜片(30)脱离;以及真空段(11)的至少一个真空口(22),其中,所述真空段(11)通过所述真空口(22)在所述保持膜片(30)与所述膜片接触面(20)之间产生负压,以将所述保持膜片(30)固定在所述顶脱器头(10)的膜片接触面(20)上,其特征在于以下步骤:

a)将空气(50)引入所述保持膜片(30)与所述膜片接触面(20)之间;

b)使所述顶脱器头(10)相对于所述保持膜片(30)移位到布置在所述保持膜片(30)上的部件(40)位置;

c)通过使所述顶脱针(13)平移穿过所述保持膜片(30),促进所述部件(40)脱离。

7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,

所述方法通过使用根据权利要求1至5中任一项所述的顶脱器装置(1)来执行。

8.根据权利要求6或7所述的方法,其特征在于,

在步骤b)中也进行将空气(50)引入所述保持膜片(30)与所述膜片接触面(20)之间,其中优选地,在步骤b)之后终止引入空气(50)。

9.根据权利要求6至8中任一项所述的方法,其特征在于,

在步骤a)之前,特别是在步骤a)期间,优选也在步骤b)期间,中断由所述真空段(11)产生负压,并在完成步骤b)之后恢复。

10.根据权利要求6至9中任一项所述的方法,其特征在于,

在步骤a)中,引入所述保持膜片(30)与所述膜片接触面(20)之间的空气(50)少于由所述真空段(11)通过所述至少一个真空口(22)引离的空气。

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