[发明专利]一种音圈电机双摆臂取放结构

说明书

一种音圈电机双摆臂取放结构，涉及半导体自动化设备领域，它由两个摆臂机构、工作平台、主轴旋转伺服电机、音圈电机组成；摆臂机构设置在工作平台的下方,主轴旋转伺服电机居中设置在工作平台的上方，音圈电机固定在工作平台上；摆臂机构由摆臂、吸嘴、交叉导轨工件、滚珠轴承、半圆弧压片；摆臂安装在交叉导轨工件上，吸嘴安装在摆臂的前端与摆臂套接，交叉导轨工件设置在工作平台的下方，滚珠轴承安装在交叉导轨工件的左侧上。本发明有益效果为:两条摆臂和两组上下运动机构交替运动，在吸取芯片的同时完成固晶动作，使产能效率达到接近于翻倍的效果，同时具有压力可控可调功能，保护芯片不被压伤，保持很好的产品良率。

技术领域

本发明涉及半导体自动一体化设备领域，具体涉及一种音圈电机双摆臂取放结构。

背景技术

随着科技的迅速发展以及半导体材料不断的新生，信息技术产业日益飞黄，半导体自动一体化设备孕育而生，设备不仅减少了劳动成本，提高资源的利用，也极大提高了生产效率。设备在日常使用中能够给人们提供方便，但是，仍具有以下不足：传统的半导体自动一体化设备由一条摆臂和一组上下运动Z轴机构组成，吸取一颗芯片,固晶完成以后，才能取下一颗芯片，产能效率低。

发明内容

本发明的目的在于针对现有技术中产能效率低的问题，提供一种音圈电机双摆臂取放结构。

为实现上述目的，本发明采用以下技术方案是：它由两个摆臂机构1、工作平台2、主轴旋转伺服电机3、音圈电机4组成；摆臂机构1设置在工作平台2的下方,主轴旋转伺服电机3居中设置在工作平台2的上方，音圈电机4固定在工作平台2上；摆臂机构1由摆臂11、吸嘴12、交叉导轨工件13、滚珠轴承14、半圆弧压片15组成；摆臂11安装在交叉导轨工件13上，吸嘴12安装在摆臂11的前端与摆臂11套接，交叉导轨工件13设置在工作平台2的下方，滚珠轴承14安装在交叉导轨工件13的左侧上，半圆弧压片15压在滚珠轴承14上，摆臂11上还设有多个孔槽110，交叉导轨工件13上设有调节旋钮130。

所述摆臂机构1以主轴旋转电机3为轴线对称分布在工作平台2的下方两侧。

所述孔槽110大小相等、排列均匀的设置在摆臂11上且孔槽110与调节旋钮130尺寸大小对应配合。起到固定和调节作用，可根据实际情况需求，调节摆臂的长度，同时也能使交叉导轨工件压力可控可调，固定摆臂位置，使摆臂在工作过程无法移位，增强设备稳定性，可以很好的保护芯片不被压伤，保持很好的产品良率。

所述交叉导轨工件13左侧设置有滚珠轴承14，半圆弧压片15压在滚珠轴承14上。

所述半圆弧压片15侧面用弹簧17拉住。固定半圆弧压片，通过音圈电机带动半圆弧压片上下运动，从而实现交叉导轨的上下运动，来完成摆臂Z轴上下的动作。

所述工作平台2的下方设有归位原点感应器16。在完成一次吸芯固晶动作后，摆臂机构回归起始位置时，音圈半圆弧挡板触碰归位原点感应器，此时旋转伺服电机旋转180°。

本发明的工作原理：工作平台上方主轴旋转伺服电机带动下方摆臂机构旋转运动180°，使得工作平台下方摆臂机构交替完成吸取芯片和固晶的动作，即摆臂1吸嘴吸取芯片的同时，摆臂2完成固晶动作，完成一次动作摆臂机构回归起始位置触碰归位原点感应器，此时旋转伺服电机旋转180°，转变成摆臂2吸取芯片的同时，摆臂1完成固晶动作，如此交替运动，缩短时间，大大提高了产能效率。

采用上述技术方案后，本发明有益效果为：由两条摆臂和两组上下运动Z轴机构组成，在吸取芯片的同时完成固晶动作，使产能效率达到接近于翻倍的效果,且音圈电机体积小，运动速度快，加减速响应时间短，同时具有压力可控可调功能，可以很好的保护芯片不被压伤，保持很好的产品良率。

附图说明