[发明专利]滑块、工作台装置、工业机械以及滑块的翘曲抑制方法

权利要求书

1.一种滑块，是沿着引导部件相对地移动的具有空气轴承的石制滑块，所述滑块具有：

第1面，形成所述空气轴承的空气轴承面；

第2面，相对于所述第1面位于与所述引导部件相反的一侧；以及

空气导入部，对所述第2面供给空气。

2.根据权利要求1所述的滑块，其中，

所述滑块具有覆盖所述第2面的盖部件。

3.根据权利要求2所述的滑块，其中，

所述滑块还具有设置在形成于所述盖部件与所述第2面之间的间隙而将从所述空气导入部供给到该间隙的空气积存的部件。

4.根据权利要求2所述的滑块，其中，

所述空气导入部为形成于所述盖部件或所述第2面的至少一个孔。

5.根据权利要求2所述的滑块，其中，

所述盖部件包含多个孔，所述多个孔中的至少一个被设置为所述空气导入部，所述多个孔中的至少另一个被设置为将从所述空气导入部对所述第2面供给的所述空气排出的排出部。

6.一种工作台装置，具有权利要求1至5中的任意一项所述的滑块，并且具有沿着所述第1面对该滑块进行引导的引导部件。

7.一种工作台装置，具备第1滑块以及与第1滑块的移动方向交叉移动的第2滑块，

所述第1滑块和所述第2滑块中的至少所述第2滑块由权利要求2所述的滑块构成，

所述第2滑块的所述盖部件被设置为对所述第1滑块的移动进行引导的引导部件。

8.一种工业机械，具有权利要求6或7所述的工作台装置。

9.一种滑块的翘曲抑制方法，是沿着引导部件相对地移动的具备空气轴承的石制滑块的翘曲抑制方法，

所述滑块具有形成所述空气轴承的空气轴承面的第1面以及相对于所述第1面位于与所述引导部件相反的一侧的第2面，

所述方法包括：

在所述第2面设置导入空气的单元；以及

通过所述单元向所述第2面供给空气来抑制所述翘曲。