[发明专利]滑块、工作台装置、工业机械以及滑块的翘曲抑制方法

说明书

本发明提供能够抑制由干燥引起的翘曲的滑块、工作台装置、工业机械以及滑块的翘曲抑制方法。在构成石制的Y轴滑块(70B)的各块的外侧面，隔着密封部件装配盖部件。盖部件通过密封部件与各块的外侧面分开配置，从而在通过密封部件、各块外侧面以及盖部件包围的空间形成干燥室。各块的内表面为空气轴承面，暴露于压缩空气来进行干燥，而且由于各块的外侧面也引起在干燥室内导入压缩空气而被暴露，因此各块的外侧面也通过压缩空气同样进行干燥。由此，抑制由于一个侧面干燥而产生的石制块的翘曲。

技术领域

本发明涉及滑块、工作台装置、工业机械以及滑块的翘曲抑制方法。

背景技术

以往，在高精度的测量装置、检查装置、机床、加工装置以及半导体制造装置等工业机械中，使测量对象物、检测器、工具、加工对象物等高精度地移动来进行定位。因此，在上述的移动和定位中，使用具有空气轴承的工作台装置，以不受摩擦等影响(参照专利文献1、专利文献2)。

具有空气轴承的滑块由铸铁或石制构成，大多形成为块状。特别是，石制的滑块与铸铁不同，具有几乎不存在铁锈等经年变化、耐磨耗性比铸铁高、因即使划伤也不会产生“毛边”而几乎不存在平面度的偏差等优点。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-120685号公报

专利文献2：日本特开平11-294456号公报

发明内容

发明所要解决的课题

但是，石制的滑块虽然平面度得到了确保，但是当微观地观察其表面时，在整体上具有许多细的凹部。在该凹部内，有时由于周围环境而积存有水分。

图18(a)示出滑块100配置在轨道102上的状态。滑块100在内部形成有空气流路101。在空气流路101设置有在与滑块100的轨道102相对的空气轴承面104开口的供气孔105。从压缩空气源向空气流路101供给压缩空气(干燥气体)，该压缩空气从供气孔105被供气到轨道102与空气轴承面104之间。

其结果，空气轴承面104暴露于被供气的压缩空气(干燥气体)。另外，在空气轴承中使用的压缩空气，通过过滤器和干燥器等被清洁化以不含有杂质、水分等，因此空气轴承面104变得容易进行干燥。

即，当在所述多个凹部内存在水分时，通过之后的空气轴承面104的干燥而收缩，通过该收缩而有时滑块100以凹形状翘曲(参照图18(b))。另外，在图18(a)中，关于各部件的间隔，比实际夸张地放大图示间隔，并且在图18(b)中，比实际夸张地图示变形以容易理解。压缩空气的空气轴承面104与轨道102之间的轴承间隙为几μm～20μm左右，另一方面，虽然滑块100的空气轴承面的平面度为μm级，但是由所述凹形状的变形引起的针对轴承间隙的坏影响很大。由这种现象引起的滑块100的变形量，在滑块100的长度方向与滑块通过轨道等引导部件而被引导的移动方向一致时，比宽度方向更大，因此存在移动时滑块100与引导部件产生干扰的问题。

本发明的目的在于，解决上述课题，提供能够抑制翘曲的石制的滑块、工作台装置、工业机械以及滑块的翘曲抑制方法。

用于解决课题的手段

为了解决上述问题点，一方式的滑块，是沿着引导部件相对地移动的具有空气轴承的石制滑块，所述滑块具有：第1面，形成所述空气轴承的空气轴承面；第2面，相对于所述第1面位于与所述引导部件相反的一侧；以及空气导入部，对所述第2面供给空气。

根据上述的结构，滑块的第1面(空气轴承面)通过在空气轴承中使用的空气进行干燥，并且能够使滑块的第2面也通过从空气导入部供给的空气而被干燥，抑制滑块的翘曲。

另外，上述滑块也可以具有覆盖所述第2面的盖部件。