[发明专利]掩模开口尺寸测量方法、掩模版拉伸装置以及张网机

权利要求书

1.一种掩模开口尺寸测量方法，其特征在于，包括：

对当前进行拉伸的掩模版进行图像采集，形成当前图像采集结果，所述掩模版包括掩模开口；

基于所述当前图像采集结果，确定所述掩模版上当前所述掩模开口的几何中心，包括：基于所述当前图像采集结果，识别所述掩模版上的掩模开口；确定所述掩模开口的几何中心；

基于所述当前图像采集结果，识别所述掩模版上的掩模开口，包括：将所述当前图像采集结果转化为黑白图像；提取所述黑白图像中的边缘点；基于所述边缘点，识别所述掩模版上的掩模开口；

基于当前所述掩模开口的几何中心，计算当前所述掩模开口的尺寸；

所述基于当前所述掩模开口的几何中心，计算当前所述掩模开口的尺寸包括：

对所述掩模开口的边缘进行直线拟合，形成直线拟合结果；

基于所述直线拟合结果，计算当前所述掩模开口的尺寸。

2.根据权利要求1所述的掩模开口尺寸测量方法，其特征在于，

基于当前所述掩模开口的几何中心，计算当前所述掩模开口的尺寸之后，还包括：

若当前所述掩模开口的尺寸大于或等于预设值，停止对所述掩模版进行拉伸；

若当前所述掩模开口的尺寸小于预设值，对所述掩模版继续进行拉伸。

3.根据权利要求1所述的掩模开口尺寸测量方法，其特征在于，

将所述当前图像采集结果转化为黑白图像，包括：对所述当前图像采集结果进行二值化处理，以将所述当前图像采集结果转化为黑白图像。

4.根据权利要求1所述的掩模开口尺寸测量方法，其特征在于，

提取所述黑白图像中的边缘点，包括：利用canny边缘检测算法提取所述黑白图像中的边缘点。

5.根据权利要求1所述的掩模开口尺寸测量方法，其特征在于，

基于所述边缘点，识别所述掩模版上的掩模开口，包括：基于边缘点，利用连通域法识别所述掩模版上的掩模开口。

6.根据权利要求1所述的掩模开口尺寸测量方法，其特征在于，

确定所述掩模开口的几何中心，包括：

利用多边形近似代替掩模开口的边界；

利用格林公式将多边形区域上的二重积分化为围绕边界的线积分；

根据所述线积分确定所述掩模开口的几何中心。

7.根据权利要求1所述的掩模开口尺寸测量方法，其特征在于，将所述当前图像采集结果转化为黑白图像之后，提取所述黑白图像中的边缘点之前，还包括

对所述黑白图像进行降噪处理。

8.根据权利要求7所述的掩模开口尺寸测量方法，其特征在于，对所述黑白图像进行降噪处理，包括：

通过形态学操作去除脏污对当前黑白图像的影响，以对所述黑白图像进行降噪处理。

9.根据权利要求1所述的掩模开口尺寸测量方法，其特征在于，

对所述掩模开口的边缘进行直线拟合，形成直线拟合结果，包括：

对于所述掩模开口的边缘进行直线拟合，得到与同一个所述掩模开口对应的第一拟合直线和第二拟合直线，所述第一拟合直线和所述第二拟合直线分居于同一所述掩模开口的相对两侧，所述第一拟合直线和所述第二拟合直线作为直线拟合结果；

基于所述直线拟合结果，计算当前所述掩模开口的尺寸，包括：

确定标准直线，所述标准直线经过同一所述掩模开口的几何中心；所述标准直线与所述第一拟合直线的交点为第一交点，所述标准直线与所述第二拟合直线的交点为第二交点；将所述第一交点与所述第二交点的之间的距离作为所述掩模开口的尺寸。