[发明专利]掩模开口尺寸测量方法、掩模版拉伸装置以及张网机

说明书

本发明实施例公开了一种掩模开口尺寸测量方法、掩模版拉伸装置以及张网机。该掩模开口尺寸测量方法包括：对当前进行拉伸的掩模版进行图像采集，形成当前图像采集结果，所述掩模版包括掩模开口；基于所述当前图像采集结果，确定所述掩模版上当前所述掩模开口的几何中心；基于当前所述掩模开口的几何中心，计算当前所述掩模开口的尺寸，以有效判断当前掩模版上的掩模开口的尺寸是否达到预设值。

技术领域

本发明实施例涉及掩模版制作技术，尤其涉及一种掩模开口尺寸测量方法、掩模版拉伸装置以及张网机。

背景技术

掩模版在制作的过程中，需要利用张网机将掩模版拉伸至预设值。在拉伸过程中，掩模版上的掩模开口的尺寸会随着拉伸的进行而发生变化。因此需要不断地确定当前掩模版上的掩模开口的尺寸是否达到预设值。现有的掩模版上的掩模开口的尺寸的测量方法是，先对掩模版上的掩模开口进行定位，然后将当前掩模开口与标准模板进行匹配，根据当前掩模开口与标准模板匹配结果判断当前掩模版上的掩模开口的尺寸是否达到预设值。

在实际中，掩模版上的掩模开口周围存在纹理结构，该纹理结构的存在，会使得拉伸过程中掩模开口发生形变。当掩模开口形变量大到超过标准模板形貌容忍范围时，最终导致掩模开口与标准模板无法匹配。这使得基于现有的掩模开口尺寸测量方法不能够很好地判断当前掩模版上的掩模开口的尺寸是否达到预设值。

发明内容

本发明提供一种掩模开口尺寸测量方法、掩模版拉伸装置以及张网机，以实现能精确测定掩模开口尺寸，进而有效判断当前掩模版上的掩模开口的尺寸是否达到预设值。

第一方面，本发明实施例提供了一种掩模开口尺寸测量方法，包括：

对当前进行拉伸的掩模版进行图像采集，形成当前图像采集结果，所述掩模版包括掩模开口；

基于所述当前图像采集结果，确定所述掩模版上当前所述掩模开口的几何中心；

基于当前所述掩模开口的几何中心，计算当前所述掩模开口的尺寸。

第二方面，本发明实施例还提供了一种掩模版拉伸装置，包括图像采集系统，图像采集系统运动机构、载物台、夹爪、夹爪控制机构以及掩模开口测量模块；

所述载物台用于承载待拉伸的掩模版；并且所述载物台位于所述图像采集系统可进行图像采集的区域内；

所述图像采集系统运动机构与所述图像采集系统连接，用于调整所述图像采集系统与所述载物台的相对位置；

所述图像采集系统用于对当前进行拉伸的掩模版进行图像采集，形成当前图像采集结果，所述掩模版包括掩模开口

所述掩模开口测量模块与所述图像采集系统连接，用于基于所述当前图像采集结果，确定所述掩模版上当前所述掩模开口的几何中心；基于当前所述掩模开口的几何中心，计算当前所述掩模开口的尺寸；

所述夹爪控制机构与所述夹爪连接，用于根据当前所述掩模开口的尺寸与预设值的关系，控制所述夹爪对所述掩模版的拉伸操作。

第三方面，本发明实施例还提供了一种张网机，包括本发明实施例提供的掩模版拉伸装置。

本发明实施例通过设置基于所述当前图像采集结果，确定所述掩模版上当前所述掩模开口的几何中心；基于当前所述掩模开口的几何中心，计算当前所述掩模开口的尺寸，解决了当掩模开口形变量大到超过标准模板形貌容忍范围时，会导致掩模开口与标准模板无法匹配，不能够很好地判断当前掩模版上的掩模开口的尺寸是否达到预设值的问题，实现能精确测定掩模开口尺寸，进而有效判断当前掩模版上的掩模开口的尺寸是否达到预设值。

附图说明

图1为本发明实施例提供的一种掩模开口尺寸测量方法的流程图；

图2为本发明实施例提供的一种掩模版拉伸装置的结构示意图；