[发明专利]金刚石多线电火花放电切削方法及线切割装置在审
| 申请号： | 201910969518.9 | 申请日： | 2019-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN110587840A | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 仇健;葛任鹏 | 申请（专利权）人： | 青岛高测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D5/00 |
| 代理公司： | 11624 北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 郭智 |
| 地址： | 266000 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 切割辊 多线切割 切割装置主体 金刚石线锯 加工表面 前端设置 主动主轴 金刚石 金刚线 电火花放电加工 电火花复合加工 电火花线切割 加工质量问题 半导体硅片 电火花放电 线切割装置 从动主轴 固定磨料 光伏硅片 加工效率 质量提升 微裂纹 切削 多线 加工 | ||
1.金刚石多线电火花放电切削线切割装置，包括切割装置主体(14)，其特征在于：所述切割装置主体(14)的中部一侧设置有一号切割辊(1)，所述一号切割辊(1)的一侧设置有二号切割辊(10)，所述一号切割辊(1)的前端设置有一号主动主轴(7)，所述二号切割辊(10)的前端设置有二号主动主轴(8)，所述一号切割辊(1)的后端外表面设置有一号从动主轴(4)，所述二号切割辊(10)的后端外表面设置有二号从动主轴(6)，所述切割装置主体(14)的上端中部外表面设置有P型硅棒(2)。
2.根据权利要求1所述的金刚石多线电火花放电切削线切割装置，其特征在于：所述一号切割辊(1)与金刚线网(11)之间设置有进电辊(9)，所述P型硅棒(2)的一侧与脉冲电源(5)的正极一侧通过进电金属固定连接。
3.根据权利要求1所述的金刚石多线电火花放电切削线切割装置，其特征在于：所述P型硅棒(2)与硅棒粘板(3)之间通过树脂板采用胶粘的方式联接，所述硅棒粘板(3)的上端外表面开设有连接孔。
4.根据权利要求1所述的金刚石多线电火花放电切削线切割装置，其特征在于：所述一号主动主轴(7)、二号主动主轴(8)的前端与后端均设置有连接法兰。
5.根据权利要求1所述的金刚石多线电火花放电切削线切割装置，其特征在于：所述一号主动主轴(7)位于二号主动主轴的一侧，所述一号从动主轴(4)位于二号从动主轴(6)的一侧。
6.根据权利要求2所述的金刚石多线电火花放电切削线切割装置，其特征在于：所述切割装置主体(14)的下端一侧设置有负极进电线(13)，所述P型硅棒(2)与脉冲电源(5)之间设置有正极进电线(12)，所述负极进电线(13)的上端设置有金刚线网(11)，所述负极进电线(13)的数量为两组，且两组负极进电线(13)分别位于切割装置主体(14)下端两侧呈对称结构。
7.根据权利要求6所述的金刚石多线电火花放电切削线切割装置，其特征在于：所述P型硅棒(2)的上端设置有硅棒粘板(3)，所述脉冲电源(5)通过负极进电线(13)为电刷供电。
8.根据权利要求7所述的金刚石多线电火花放电切削方法，其特征在于，包括以下步骤：
(S1)金刚线经排线轮、张力轮和导向轮，缠绕到两个加工辊，再经过导向轮、张力轮和排线轮，最后缠绕到收放线轮上；
(S2)当缠绕到收放线轮上，工件接到脉冲电源进电线(12)正极上，金刚线接到脉冲电源负极进电线(13)上，金刚线往复运动，在加工辊和加工辊之间形成的线网利用磨削方式和放电加工方式将硅料切割成硅片。
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