[发明专利]金刚石多线电火花放电切削方法及线切割装置

说明书

本发明公开了金刚石多线电火花放电切削线切割装置，包括切割装置主体，所述切割装置主体的中部一侧设置有一号切割辊，所述一号切割辊的一侧设置有二号切割辊，所述一号切割辊的前端设置有一号主动主轴，所述二号切割辊的前端设置有二号主动主轴，所述一号切割辊的后端外表面设置有一号从动主轴。本发明将固定磨料金刚石线锯与电火花线切割进行结合，进而产生金刚石线锯电火花复合加工，进一步提高金刚石多线切割光伏硅片的加工效率且降低加工成本，针对金刚线多线切割加工半导体硅片的加工表面微裂纹等加工质量问题，将在金刚线多线切割的基础上加入电火花放电加工实现加工表面的质量提升。

技术领域

本发明涉及金刚石切割技术领域，具体为金刚石多线电火花放电切削方法及线切割装置。

背景技术

金刚石俗称“金刚钻”，也就是我们常说的钻石的原身，它是一种由碳元素组成的矿物，是碳元素的同素异形体。金刚石是自然界中天然存在的最坚硬的物质，金刚石的用途非常广泛，例如：工艺品、工业中的切割工具。石墨可以在高温、高压下形成人造金刚石，也是贵重宝石，由于硬度最高，金刚石的切削和加工必须使用钻石粉或激光(比如532nm或者1064nm波长激光)来进行，金刚石的密度为3.52g/cm，折射率为2.417(在500纳米光波下)，色散率为0.044。

在实际的使用过程中，金刚石多线电火花放电切削方法及线切割装置可实现以下形式的操作：能够进一步提高金刚石多线切割光伏硅片的加工效率，降低加工成本，将传统电火花放电加工与金刚石多线切割技术相结合实现电火花金刚石线复合加工光伏硅片；针对金刚线多线切割加工半导体硅片的加工表面微裂纹等加工质量问题，将在金刚线多线切割的基础上加入电火花放电加工实现加工表面的质量提升，为其在半导体行业的推广应用提供帮助，最终使得整体的操作更加高效、便捷。

现有的金刚石多线电火花放电切削方法及线切割装置虽结构简单，操作方便，但是功能单一，且单一的加工方式导致实际使用的效率较低，且容易造成半导体硅片的加工表面出现微裂纹，进而导致整体的加工工艺水平难以提高，为此，我们提出金刚石多线电火花放电切削方法及线切割装置。

发明内容

本发明要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供金刚石多线电火花放电切削方法及线切割装置，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：金刚石多线电火花放电切削线切割装置，包括切割装置主体，所述切割装置主体的中部一侧设置有一号切割辊，所述一号切割辊的一侧设置有二号切割辊，所述一号切割辊的前端设置有一号主动主轴，所述二号切割辊的前端设置有二号主动主轴，所述一号切割辊的后端外表面设置有一号从动主轴，所述二号切割辊的后端外表面设置有二号从动主轴，所述切割装置主体的上端中部外表面设置有P型硅棒。

优选的，所述一号切割辊与金刚线网之间设置有进电辊，所述P型硅棒的一侧与脉冲电源的正极一侧通过进电金属固定连接。

优选的，所述P型硅棒与硅棒粘板之间通过树脂板采用胶粘的方式联接，所述硅棒粘板的上端外表面开设有连接孔。

优选的，所述一号主动主轴与二号主动主轴的前端与后端均设置有连接法兰。

优选的，所述一号主动主轴位于二号主动主轴的一侧，所述一号从动主轴位于二号从动主轴的一侧。

优选的，所述切割装置主体的下端一侧设置有负极进电线，所述P型硅棒与脉冲电源之间设置有正极进电线，所述负极进电线的上端设置有金刚线网，所述负极进电线的数量为两组，且两组负极进电线分别位于切割装置主体下端两侧呈对称结构。

优选的，所述P型硅棒的上端设置有硅棒粘板，所述脉冲电源通过负极进电线为电刷供电。

一种金刚石多线电火花放电切削方法，包括以下步骤：

S1、金刚线经排线轮、张力轮和导向轮，缠绕到两个加工辊，再经过导向轮、张力轮和排线轮，最后缠绕到收放线轮上；