[发明专利]一种基于MEMS技术的微型加速度传感器在审
| 申请号： | 201910969695.7 | 申请日： | 2019-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN110596422A | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 刘一锋 | 申请（专利权）人： | 苏州八度阳光智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08 |
| 代理公司： | 11582 北京久维律师事务所 | 代理人： | 邢江峰 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 传感器外壳 固定电极 检测 元件固定 弹性固定 绝缘子 微型加速度传感器 不锈钢材质 便于安装 单晶硅片 电性连接 短路现象 缓冲弹簧 内部设置 温度过高 散热孔 质量块 散热 壳均 绝缘 传输 制造 | ||
1.一种基于MEMS技术的微型加速度传感器，包括传感器外壳（1）和检测元件（2），所述检测元件（2）固定安装在传感器外壳（1）的内部，其特征在于：所述传感器外壳（1）包括元件固定壳（11）和电性连接壳（12），元件固定壳（11）和电性连接壳（12）固定连接构成传感器外壳（1）整体；
所述检测元件（2）包括第一固定电极（21）、第二固定电极（22）、质量块（23）、弹性固定外壳（24）和第三固定电极（25），第一固定电极（21）固定设置在第二固定电极（22）的上端，第二固定电极（22）为环状结构，质量块（23）和弹性固定外壳（24）固定安装在第二固定电极（22）的内部，第三固定电极（25）固定设置在第二固定电极（22）的下端。
2.根据权利要求1所述的一种基于MEMS技术的微型加速度传感器，其特征在于：所述元件固定壳（11）和电性连接壳（12）均采用绝缘不锈钢材质制成。
3.根据权利要求1所述的一种基于MEMS技术的微型加速度传感器，其特征在于：所述元件固定壳（11）开设有散热孔（111），散热孔（111）固定设置在元件固定壳（11）的中间。
4.根据权利要求1所述的一种基于MEMS技术的微型加速度传感器，其特征在于：所述电性连接壳（12）设置有柱状安装头（121）、绝缘子（122）、传输端（123）和内六角螺母（124），柱状安装头（121）固定安装在电性连接壳（12）的一侧，绝缘子（122）设置在柱状安装头（121）的一端，传输端（123）设置在绝缘子（122）内部，并与检测元件（2）电性连接，内六角螺母（124）安装在柱状安装头（121）的上端面。
5.根据权利要求1所述的一种基于MEMS技术的微型加速度传感器，其特征在于：所述第一固定电极（21）、第二固定电极（22）和第三固定电极（25）均采用单晶硅片制成。
6.根据权利要求1所述的一种基于MEMS技术的微型加速度传感器，其特征在于：所述质量块（23）开设有孔柱（231）。
7.根据权利要求1所述的一种基于MEMS技术的微型加速度传感器，其特征在于：所述弹性固定外壳（24）包括外壳主体（241）和缓冲弹簧（242），缓冲弹簧（242）固定安装在外壳主体（241）的内部，且与质量块（23）的侧面连接。
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