[发明专利]一种基于MEMS技术的微型加速度传感器

说明书

本发明公开了一种基于MEMS技术的微型加速度传感器，包括传感器外壳和检测元件，检测元件固定安装在传感器外壳的内部，通过在传感器外壳设置的元件固定壳上开设有散热孔，有助于传感器外壳内部的检测元件散热，不至于温度过高而出现故障，且将元件固定壳和电性连接壳均采用绝缘不锈钢材质制成，并在传输端的外侧套装绝缘子，杜绝了短路现象的发生，同时保护了检测元件，使得对加速度的检测更精准；通过将第一固定电极、第二固定电极和第三固定电极采用单晶硅片制成，并采用MEMS技术制造，使得检测元件的体积更小，便于安装，同时在第二固定电极内部设置质量块和弹性固定外壳，且弹性固定外壳设置缓冲弹簧，使得检测效果更好，更加精准。

技术领域

本发明涉及传感设备技术领域，具体为一种基于MEMS技术的微型加速度传感器。

背景技术

微机电系统，也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。加速度传感器是一种能够测量加速度的传感器。通常由质量块、阻尼器、弹性元件、敏感元件和适调电路等部分组成。传感器在加速过程中，通过对质量块所受惯性力的测量，利用牛顿第二定律获得加速度值。根据传感器敏感元件的不同，常见的加速度传感器包括电容式、电感式、应变式、压阻式、压电式等。

目前，市场上的加速度传感器，检测不精准，且体积较大，不便于安装。

针对上述问题，本发明提供了一种基于MEMS技术的微型加速度传感器。

发明内容

本发明的目的在于提供一种基于MEMS技术的微型加速度传感器，包括传感器外壳和检测元件，所述检测元件固定安装在传感器外壳的内部，检测精准，体积小，便于安装，从而解决了背景技术中的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种基于MEMS技术的微型加速度传感器，包括传感器外壳和检测元件，所述检测元件固定安装在传感器外壳的内部，所述传感器外壳包括元件固定壳和电性连接壳，元件固定壳和电性连接壳固定连接构成传感器外壳整体；

所述检测元件包括第一固定电极、第二固定电极、质量块、弹性固定外壳和第三固定电极，第一固定电极固定设置在第二固定电极的上端，第二固定电极为环状结构，质量块和弹性固定外壳固定安装在第二固定电极的内部，第三固定电极固定设置在第二固定电极的下端。

优选的，所述元件固定壳和电性连接壳均采用绝缘不锈钢材质制成。

优选的，所述元件固定壳开设有散热孔，散热孔固定设置在元件固定壳的中间。

优选的，所述电性连接壳设置有柱状安装头、绝缘子、传输端和内六角螺母，柱状安装头固定安装在电性连接壳的一侧，绝缘子设置在柱状安装头的一端，传输端设置在绝缘子内部，并与检测元件电性连接，内六角螺母安装在柱状安装头的上端面。

优选的，所述第一固定电极、第二固定电极和第三固定电极均采用单晶硅片制成。

优选的，所述质量块开设有孔柱。

优选的，所述弹性固定外壳包括外壳主体和缓冲弹簧，缓冲弹簧固定安装在外壳主体的内部，且与质量块的侧面连接。

与现有技术相比，本发明的有益效果如下：

1、本基于MEMS技术的微型加速度传感器，通过在传感器外壳设置的元件固定壳上开设有散热孔，有助于传感器外壳内部的检测元件散热，不至于温度过高而出现故障，且将元件固定壳和电性连接壳均采用绝缘不锈钢材质制成，并在传输端的外侧套装绝缘子，杜绝了短路现象的发生，同时保护了检测元件，使得对加速度的检测更精准。

2、本基于MEMS技术的微型加速度传感器，通过将第一固定电极、第二固定电极和第三固定电极采用单晶硅片制成，并采用MEMS技术制造，使得检测元件的体积更小，便于安装，同时在第二固定电极内部设置质量块和弹性固定外壳，且弹性固定外壳设置缓冲弹簧，使得检测效果更好，更加精准。