[发明专利]研磨装置

权利要求书

1.一种研磨装置(10)，其通过可伸缩的研磨体来研磨被研磨物(22)，其特征在于，

具有推压力施加机构(90)和支承体(60)，其中，

所述推压力施加机构通过对所述研磨体的研磨面的背面施加推压力，使所述研磨面变形；

所述支承体支承所述推压力施加机构，

所述推压力施加机构具有进退部和摆动部(94)，其中，所述进退部能够朝向所述研磨面前进或后退；所述摆动部以能够摆动的方式被设置在所述进退部的面向所述研磨体的顶端，

所述进退部包括气缸(92)，

所述研磨装置还具有控制部(20)，该控制部通过控制施加于所述气缸的推动力，来调整所述研磨体相对于所述被研磨物的表面压力，

在对所述研磨面实施研磨的过程中，所述控制部根据在所述研磨面上存在的凹部(132)或者凸部(130)来控制施加于所述气缸的推动力。

2.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

具有使所述支承体偏心旋转的偏心旋转机构(34)。

3.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

具有向所述研磨体施加张力的张力施加机构(86)。

4.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

对应于所述被研磨物的形状，所述进退部前进或后退，或者所述摆动部摆动。

5.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

具有保持所述支承体的机器人(12)。

6.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

所述气缸(92)具有杆(100)。

7.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

所述研磨体为可环绕转动的环形带(70)，并且所述研磨装置具有驱动力施加机构(72)，该驱动力施加机构(72)向所述环形带施加环绕转动的驱动力。

8.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

所述研磨体为卡止于所述支承体的片状体(196)。

9.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

所述控制部将在所述被研磨物的研磨开始点和研磨结束点对所述进退部施加的推动力设定为，比在其他的被研磨区域对所述进退部施加的推动力大。

10.根据权利要求7所述的研磨装置，其特征在于，

所述环形带为位于内周侧的内周带(82)和位于外周侧的外周带(84)的层积体。

11.根据权利要求6所述的研磨装置，其特征在于，

所述控制部从研磨开始点到研磨结束点之间，不对所述气缸中的被研磨区域以外的气缸进行压缩空气的供给和排出。