[发明专利]研磨装置

说明书

本发明涉及一种研磨装置。研磨装置(10)具有可伸缩的研磨体。该研磨装置(10)还具有研磨机构(16)，该研磨机构包括推压力施加机构(90)和支承体(60)，其中，所述推压力施加机构对研磨体施加推压力；所述支承体支承该推压力施加机构。另外，推压力施加机构构成为具有进退部和摆动部(94)，其中，所述进退部能够前进或后退；所述摆动部以能够摆动的方式被设置在该进退部的面向研磨体的顶端。根据该研磨装置，即使在被研磨区域形成为复杂的形状的情况下，也能够自动地进行良好的研磨。

技术领域

本发明涉及一种研磨装置，其通过研磨体来研磨被研磨物。

背景技术

研磨被研磨物的研磨体，如日本发明专利公开公报特开2004-009189号所例示的那样，通常作为形成为圆板形状的旋转体而构成。但是，在该情况下，虽然能够研磨平坦面，但难以同样地研磨存在起伏的凹凸面。

因此，可以想到在研磨体上设置弹性体(缓冲垫：cushion)，例如海绵(sponge)。在该情况下，当研磨被研磨物的凸部时，弹性体被压溃，另一方面，当研磨凹部时被压溃的弹性体要恢复到原来的形状。这是因为，由于通过弹性体而使研磨体表现出形状追随性，因此可以认为能够比较容易地研磨凹凸面。

发明内容

实际上，弹性体的形状追随性并不那么好。因此，例如在想要研磨形成为凸部和凹部交替相连的复杂的形状的被研磨区域的、所述凸部的情况下，有可能弹性体不能被充分地压溃。当发生这种情况时，对凸部的研磨量比设计值变多。

为了避免这种情况，在被研磨区域形成为复杂的形状的情况下，大多由作业人员通过手工作业进行研磨。但是，在该情况下，研磨烦杂并且对作业人员来说成为负担。

本发明的主要目的在于提供一种研磨装置，该研磨装置即使在被研磨区域形成为复杂的形状的情况下，也能够进行自动且良好的研磨。

根据本发明的一实施方式，提供一种研磨装置，该研磨装置通过可伸缩的研磨体来研磨被研磨物，所述研磨装置具有推压力施加机构和支承体，其中，

所述推压力施加机构对所述研磨体施加推压力；

所述支承体支承所述推压力施加机构，

所述推压力施加机构具有进退部和摆动部，其中，所述进退部能够前进或后退；所述摆动部以可摆动的方式被设置于所述进退部的、面向所述研磨体的顶端，

所述研磨装置还具有控制部，该控制部控制施加于所述进退部的推动力。

在本发明中，在支承体偏心旋转而使研磨体与被研磨物滑动接触(进行研磨)时，进退部前进或后退，或者摆动部摆动，其中，该进退部构成向该研磨体施加推压力的推压力施加机构。通过进退部和摆动部这样动作，研磨体一边适宜地伸缩，并且对被研磨区域施加适当且大致均等的表面压力，一边与该被研磨区域滑动接触。因此，能够实施自动且良好的研磨。

优选在研磨装置上设置使支承体偏心旋转的偏心旋转机构。当使支承体偏心旋转时，支承于该支承体的推压力施加机构也偏心旋转。因此，由于经由研磨体而被传递给被研磨物的研磨力范围较广，从而能够研磨的区域范围较广。

另外，优选在研磨装置上设置向研磨体施加张力的张力施加机构。通过调节由张力施加机构施加给研磨体的张力，能够使研磨体对被研磨区域的表面压力适宜变化。

在推压力施加机构中，例如对应于被研磨区域的形状，进退部前进或后退，或者摆动部摆动。通过进退部和摆动部这样动作，即使在被研磨区域形成为复杂的形状的情况下，也能够实施自动且良好的研磨。

优选研磨装置具有用于保持支承体的机器人。在该情况下，通过将研磨机构的移动轨迹存储于机器人(进行示教：Teaching)，由此能够对比研磨体更广范围的被研磨区域连续且自动地实施研磨。并且，在被研磨物形成为复杂的形状时，也能够使研磨机构跟随该形状而移动，并且能够在短时间内进行并完成研磨。