[发明专利]一种高速装片刻印机有效
申请号: | 201910981416.9 | 申请日: | 2019-10-16 |
公开(公告)号: | CN110676199B | 公开(公告)日: | 2022-04-22 |
发明(设计)人: | 周颖 | 申请(专利权)人: | 深圳市迈诺为智能科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 长沙湘驰达知识产权代理事务所(普通合伙) 43242 | 代理人: | 罗若愚 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区龙城*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高速 刻印 | ||
1.一种高速装片刻印机,其特征在于:包括机架,所述机架上依次设有吸料组件、剔料组件、装片组件以及篮具组件,所述吸料组件包括设于机架上端的吸料移送装置,所述吸料移送装置一侧设有切换装料装置,所述吸料移送装置上方设有吸盘装置,所述吸料移送装置上设有吸料工位和多片检测工位,所述剔料组件包括设于机架上端的多片剔除装置、视觉定位装置、视觉或读码器识别装置,所述装片组件包括设于机架上端的装片移送装置,所述装片移送装置的输出端设有装片升降装置,所述装片升降装置一端设有射频识别器,所述篮具组件包括分别设于机架上端和下端的出满花篮装置和进空花篮装置,所述多片剔除装置包括固定架,所述固定架上通过铰接轴铰接有多片剔除架,所述固定架下部设有与所述铰接轴通过皮带连接的第二传输电机,所述多片剔除架的另一端下部倾斜的设有多片剔除气缸,所述视觉定位装置下方倾斜的设有垫板,所述垫板上设有滑道,所述滑道上配合设有多片剔除盒,所述多片剔除盒与垫板之间设有多片剔除电机;所述视觉定位装置包括两条横向平行设置的输送架,所述输送架上设有皮带和皮带轮,输送架下方设有第三传输电机,两输送架之间设有传动轴,所述第三传输电机的输出端与所述传动轴之间通过皮带和皮带轮连接,所述输送架上设有空工位、视觉定位和打码工位、识别工位,所述视觉定位和打码工位的上方设有用于对硅片进行刻印识别码的镭雕机,所述视觉定位和打码工位的下方设有视觉定位器,所述识别工位上方设有所述视觉或读码器识别装置,所述输送架对应所述视觉定位和打码工位的两侧均设有定位调节板,所述定位调节板上端均布有调节滚轮,所述定位调节板下部外端设有定位调节气缸,所述视觉或读码器识别装置包括纵向支架,所述纵向支架的两端均设有皮带和皮带轮,所述纵向支撑架的中部设有同时与两端的皮带轮连接的不良品剔除电机,所述纵向支架的一侧对应设有不良品落料盒。
2.根据权利要求1所述的一种高速装片刻印机,其特征在于:所述吸料移送装置包括两条平行设置的移送架,所述移送架上设有皮带和皮带轮,移送架下方设有第一传输电机,两移送架之间设有传动轴,所述第一传输电机的输出端与所述传动轴之间通过皮带和皮带轮连接。
3.根据权利要求1所述的一种高速装片刻印机,其特征在于:所述切换装料装置包括固定在机架上端且开设有滑槽的滑块,所述滑块上设有滑动板,所述滑动板底端设有与所述滑槽配合连接的滑轨,所述滑动板上设有第一料盒和第二料盒,所述滑动板与机架之间设有切换电机,所述滑动板的两侧对应所述第一料盒位置设有装料支撑架,所述装料支撑架上设有用于限制第一料盒和第二料盒上端高度的限位块,所述机架下方对应所述第一料盒位置设有推料电机,所述推料电机上设有推料杆,所述推料杆上端设有推料板。
4.根据权利要求3所述的一种高速装片刻印机,其特征在于:所述切换装料装置还包括对应设于所述吸盘装置一侧的过渡料盒,所述过渡料盒两侧设于所述装料支撑架,所述装料支撑架上设有用于限制过渡料盒上端高度的限位块。
5.根据权利要求1所述的一种高速装片刻印机,其特征在于:所述吸盘装置包括设于吸料移送装置一端的吸盘支撑架,所述吸盘支撑架下端设有摆动电机,所述吸盘支撑架上端设有与摆动电机轴接的主动带轮和设于吸盘支撑架另一端的从动带轮,所述主动带轮与从动带轮通过皮带连接,所述从动带轮通过连接轴连接有摆动臂,所述摆动臂另一端连接有吸盘。
6.根据权利要求1所述的一种高速装片刻印机,其特征在于:所述装片移送装置包括两平行设置的装片移送架,所述装片移送架两侧均设有皮带和皮带轮,装片移送架下方设有第四传输电机,两装片移送架之间设有同时与两装片移送架上皮带轮连接的传动轴,所述两装片移送架的输出端设有装片板,所述装片板上设有装片感应器。
7.根据权利要求1所述的一种高速装片刻印机,其特征在于:所述装片升降装置包括升降支撑架,所述升降支撑架后部设有升降导板和升降滑块,所述升降导板顶端设有升降电机,所述升降导板连接有升降杆,所述升降杆底端连接有装置架,所述装置架两侧均设有皮带和皮带轮,所述装置架一端设有与所述皮带轮轴接的正反转电机,所述升降支撑架顶端设有装夹气缸和装夹感应器,所述装置架另一端设有所述射频识别器。
8.根据权利要求1所述的一种高速装片刻印机,其特征在于:所述出满花篮装置和进空花篮装置包括分别设于所述机架上部和下部的输出花篮架和输入花篮架,所述输出花篮架和输入花篮架的两端均设有皮带和皮带轮,输出花篮架和输入花篮架的一端分别设有与皮带轮轴接的输出电机和输入电机,所述输出花篮架和输入花篮架上分别设有满花篮和空花篮。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造