[发明专利]一种高精密定位平台的减振方法、装置及设备

权利要求书

1.一种高精密定位平台的减振方法，其特征在于，包括：

实时检测定位平台和目标位置点之间的相对距离；

当所述相对距离在预设距离范围内时，控制调节减振物体向所述定位平台运动方向相反的方向运动，直到所述定位平台在所述目标位置点周围的振幅小于预设振幅；

其中，所述定位平台和所述减振物体之间通过弹性部件连接，且所述定位平台的质量大于所述减振物体的质量；

所述控制调节减振物体向所述定位平台运动方向相反的方向运动包括：

检测获得所述定位平台的速度数据以及所述定位平台相对于所述目标位置点的位置数据；

根据所述速度数据和所述位置数据，控制调整所述减振物体的运动速度。

2.如权利要求1所述的高精密定位平台的减振方法，其特征在于，所述根据所述速度数据和所述位置数据，控制调整所述减振物体的运动速度包括：

根据当前时刻所述定位平台的所述速度数据和所述位置数据，获得所述定位平台和所述减振物体的总能量；其中所述总能量包括定位平台动能、定位平台振动势能以及减振物体势能；

基于能量守恒定律原理，控制调节所述减振物体的减振速度，使得所述总能量等于所述减振速度对应的减振物体动能。

3.如权利要求1或2所述的高精密定位平台的减振方法，其特征在于，控制调节减振物体向所述定位平台运动方向相反的方向运动，直到所述定位平台在所述目标位置点周围的振幅小于预设振幅，包括：

根据实时检测的所述定位平台的位置数据，获得所述定位平台的所述振幅的大小；

判断所述定位平台的所述振幅是否小于所述预设振幅；若否，则进入所述控制调节减振物体向所述定位平台运动方向相反的方向运动的操作，若是，则减振结束。

4.一种高精密定位平台的减振装置，其特征在于，包括：

数据采集模块，用于实时检测定位平台和目标位置点之间的相对距离；

减振控制模块，用于当所述相对距离在预设距离范围内时，控制调节减振物体向所述定位平台运动方向相反的方向运动，使得所述减振物体对定位平台施加阻力作用，直到所述定位平台在所述目标位置点周围的振幅小于预设振幅；

其中，所述定位平台和所述减振物体之间通过弹簧连接，且所述定位平台的质量大于所述减振物体的质量；

所述减振控制模块具体用于检测获得所述定位平台的速度数据以及所述定位平台相对于所述目标位置点的位置数据；根据所述速度数据和所述位置数据，控制调整所述减振物体的运动速度。

5.如权利要求4所述的高精密定位平台的减振装置，其特征在于，所述减振控制模块具体用于根据当前时刻所述定位平台的所述速度数据和所述位置数据，获得所述定位平台和所述减振物体的总能量；其中所述总能量包括定位平台动能、定位平台振动势能以及减振物体势能；基于能量守恒定律原理，控制调节所述减振物体的减振速度，使得所述总能量等于所述减振速度对应的减振物体动能。

6.一种高精密定位平台的减振设备，其特征在于，包括：

质量小于定位平台的质量的减振物体；

连接所述减振物体和所述定位平台的弹性部件；

用于检测所述定位平台相对于目标位置点的相对距离的位置检测装置；

分别和所述减振物体、所述定位平台以及所述位置检测装置相连接，用于执行如权利要求1至3任一项所述的高精密定位平台的减振方法的操作步骤的控制系统。

7.如权利要求6所述的高精密定位平台的减振设备，其特征在于，所述减振物体为内置驱动电机的物体。

8.如权利要求6所述的高精密定位平台的减振设备，其特征在于，弹性部件为弹性系数不小于预设系数的弹簧。