[发明专利]一种高精密定位平台的减振方法、装置及设备

说明书

本发明公开了一种高精密定位平台的减振方法，包括实时检测定位平台和目标位置点之间的相对距离；当相对距离在预设距离范围内时，控制调节减振物体向定位平台运动方向相反的方向运动，直到定位平台在目标位置点周围的振幅小于预设振幅；其中，定位平台和减振物体之间通过弹性部件连接，且定位平台的质量大于减振物体的质量。本发明的减振方法通过减振物体对定位平台产生阻力，缩短定位平台来回振动所持续的时长，在一定程度上避免定位平台的振动对高速高精度定位产生的干扰和影响，有利于高速该进度定位设备的广泛应用。本发明中还提供了一种高精密定位平台的减振装置及设备，具有上述有益效果。

技术领域

本发明涉及高速高精密定位技术领域，特别是涉及一种高精密定位平台的减振方法装置及设备。

背景技术

随着微纳技术及微电子制造领域的发展，对于微电子元器件的操作更加地精密化，如今高速高精密定位技术在芯片光刻机，生物细胞操作与金属表面缺陷检测具有极其重要的作用。振动问题是精密定位研究的一个重要问题，是精密定位操作的关键因素，是精密定位器件准确工作的保障，在高速高精密运动下，微小的细微振动和干扰对操作对象会产生严重影响，因此，高速高精密定位与振动的研究是精密操作的一项重要问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种高精密定位平台的减振方法、装置及设备，解决了在高速高精密运动下，微小的细微振动和干扰对操作对象会产生严重影响的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种高精密定位平台的减振方法，包括：

实时检测定位平台和目标位置点之间的相对距离；

当所述相对距离在预设距离范围内时，控制调节减振物体向所述定位平台运动方向相反的方向运动，直到所述定位平台在所述目标位置点周围的振幅小于预设振幅；

其中，所述定位平台和所述减振物体之间通过弹性部件连接，且所述定位平台的质量大于所述减振物体的质量。

其中，所述控制调节减振物体向所述定位平台运动方向相反的方向运动包括：

实时检测获得所述定位平台的速度数据以及所述定位平台相对于所述目标位置点的位置数据；

根据所述速度数据和所述位置数据，控制调整所述减振物体的运动速度。

其中，所述根据所述速度数据和所述位置数据，控制调整所述减振物体的运动速度包括：

根据当前时刻所述定位平台的所述速度数据和所述位置数据，获得所述定位平台和所述减振物体的总能量；其中所述总能量包括定位平台动能、定位平台振动势能以及减振物体势能；

基于能量守恒定律原理，控制调节所述减振物体的减振速度，使得所述总能量等于所述减振速度对应的减振物体动能。

其中，控制调节减振物体向所述定位平台运动方向相反的方向运动，直到所述定位平台在所述目标位置点周围的振幅小于预设振幅，包括：

根据实时检测的所述定位平台的位置数据，获得所述定位平台的所述振幅的大小；

判断所述定位平台的所述振幅是否小于所述预设振幅；若否，则进入所述控制调节减振物体向所述定位平台运动方向相反的方向运动的操作，若是，则减振结束。

本发明还提供了一种高精密定位平台的减振装置，其特征在于，包括：

数据采集模块，用于实时检测定位平台和目标位置点之间的相对距离；

减振控制模块，用于当所述相对距离在预设距离范围内时，控制调节减振物体向所述定位平台运动方向相反的方向运动，使得所述减振物体对定位平台施加阻力作用，直到所述定位平台在所述目标位置点周围的振幅小于预设振幅；