[发明专利]表面分析装置

说明书

提供一种表面分析装置。表面分析装置具备：载置试样的试样台；以及以与试样台相向的方式配置的悬臂及驱动悬臂的悬臂驱动部。驱动机构构成为：在取出试样台时，以使测定部与试样台在悬臂与试样台相向的第一方向上分离的方式使试样台相对于测定部相对地进行位移，之后使试样台在与第一方向交叉的方向上滑动。

技术领域

本发明涉及一种表面分析装置。

背景技术

作为以往的分析装置,在日本特开平8-101219号公报中公开了一种扫描型探针显微镜，其使用设置有探针的悬臂来对试样面上的微细结构进行分析。

在专利文献1所公开的扫描型探针显微镜中，包括光学系统的测定部可移动地固定到相对于试样台以规定的位置关系固定的基座。测定部配置于试样台的上方。在测定试样时，通过使测定部从测定时的位置后退，来在试样台的上方形成用于更换试样的空间，由此，能够容易地进行试样的更换作业。

发明内容

然而，在日本特开平8-101219号公报所公开的结构中，在更换试样时，在将试样台固定的状态下使包括光学系统的测定部移动。因此，存在以下担忧：由于作业者的手无意间触碰到光学系统的调整把手或者由于撞击被传递到光学系统而导致在光学系统中发生光轴偏移。

另外，在更换试样时，在测定部内使悬臂移动之后才能够移动试样。使该悬臂移动的工序需要劳力和时间，因此存在以下担忧：更换试样的作业整体耗费劳力和时间。

本发明是鉴于如上所述的问题而完成的，本发明的目的在于提供一种能够容易地取出试样的表面分析装置。

基于本公开的表面分析装置对试样表面进行分析，该表面分析装置具备：试样台，其载置试样；测定部，其包括以与上述试样台相向的方式配置的悬臂以及驱动上述悬臂的悬臂驱动部；以及驱动机构，其使上述测定部与上述试样台相对地进行位移。上述驱动机构构成为：以使上述测定部与上述试样台在上述悬臂与上述试样台相向的第一方向上分离的方式使上述试样台相对于上述测定部相对地进行位移，之后使上述试样台在与上述第一方向交叉的第二方向上滑动。

根据上述结构，在取出试样时，以使测定部与试样台在上述悬臂与上述试样台相向的第一方向上分离的方式使试样台相对于测定部相对地进行位移，之后使试样台在与第一方向交叉的第二方向上滑动。因此，在试样台滑动时，在试样台与测定部分离的状态下试样台进行移动，因此能够防止测定部与试样台发生干扰。另外，即使不等待测定部内的悬臂驱动部对悬臂的移动，也能够如上所述那样通过使测定部与试样台相对地进行位移来取出试样。因此，能够容易地进行试样更换，而无需耗费劳力和时间来进行试样更换。

关于上述基于本公开的表面分析装置，优选的是，上述驱动机构包括：试样台保持部，其保持上述试样台；以及移动机构，其使上述试样台在测定位置与试样取出位置之间移动。上述第一方向也可以是上下方向。在该情况下，优选的是，上述移动机构构成为：以使上述试样台在上述测定位置与退避位置之间升降的方式使上述试样台保持部升降，以使上述试样台在上述试样取出位置与上述退避位置之间移动的方式使上述试样台保持部滑动，上述退避位置位于比上述测定位置靠下方的位置。

根据上述结构，在取出试样时，使试样台相对于测定部退避到下方后使试样台滑动。另一方面，在放置试样时，进行与其相反的动作。因此，在试样台滑动时，在试样台相对于测定部而言下降的状态下试样台进行移动，因此能够防止测定部与试样台发生干扰。

另外，不是使测定部移动，而是通过使试样台保持部移动从而能够使试样台在测定位置与试样取出位置之间移动。因此，与使测定部移动来取出试样的结构以及拆下测定部来取出试样的结构相比，能够抑制测定部中包括的测定设备的位置发生变动。并且，不需要拆下测定部的作业，因此能够在取出试样时减少作业的负担和作业时间。除此以外，将试样取出位置设置于在上下方向上不与测定部重合的位置，由此能够确保充足的作业空间，因此能够提高作业性。